什么是光纤阵列?
光纤阵列(英文叫Fiber Array, FA)是利用V形槽(即V槽,V-Groove)基片,把一束光纤或一条光纤带按照规定间隔安装在基片上,所构成的阵列。光纤阵列的加工过程是,除去光纤涂层的裸露光纤部分被置于该V形槽中,由被加压器部件所加压,并由粘合剂所粘合,最后研磨表面并抛光至所需精度。
光纤阵列的结构
光纤阵列FA主要由V槽底板、盖板、光纤、胶水等组合成。
图:光纤阵列的结构
光纤阵列主要应用在哪里?
光纤阵列通常应用于平面光波导,阵列波导光栅,有源/无源阵列光纤器件,微机电系统,多通道光学模块等。其中,光纤阵列是平面光波导分路器(PLC Splitter)重要的部件之一,可大大减少光波导器件和光耦合对准的损耗。
光纤阵列排布装置及方法
1. 基板贴膜
采用1.0MM 或1.5mm JGS2石英玻璃或BF33、 bk7等,放置于贴膜设备上中心进行粘贴,作业完成取出粘贴的基板。
2. 开台阶
产品放置有磨床吸附盘中,四个方向不超出真空盘即可。
3. 开槽
刀具一般使用两种规格刀具,一种是切断刀,另一种是V型刀具,主要是开槽和倒角使用,开槽可以使用60°和90°V型刀,而60或90°也可以使用倒角,一般90°倒角居多。
刀具粗糙度一般选用600目、800目、1000目,开槽 600目或800目均可,切断使用600目、800目,1000目切断刀具用于且端V槽中间的一刀,目的降低V槽的边缘破损。
设备启动后,进行设备刀具具确认,刀片角度一般使用60°或90°两种规格,试刀后60°的刀具范围是58~65°(90°±3°)均可使用,超出以外的角度要更换刀具,若有特殊的角度按照实际要求加工即可。
4. 设备操作
进入设备操作界面选择手动切割(半自动切割),复制后进行粘贴并修改文件名称,修改所需设备切割程序。
操作流程图如下
5. Core Pitch
Core Pitch是指一根光纤与另一根光纤之间的间距,包括相邻通道间距、不相邻通道间距。同时因加工V槽需要高精度设备,通道数越多,pitch精度会相对下降,通过设备测试VG的位置误差,保证产品在加工过成管控。
6. FA装配
把带状光纤,剥出纤芯 ,将光纤放入V槽内盖板固定光纤位置。
7. 胶水分布
一般采用两种或三种胶水进行固定与防护光纤。
8. 端面研磨
研磨端面角度分为-8°或8° ,0°等。一般要求平面度<200nm,纤高<200nm,角度范围±0.3°或0.5°等。
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