原创 赛微电子北京产线MEMS生物芯片通过验证并启动试产

1月10号，赛微电子公告，控股子公司赛莱克斯北京代工制造的某款MEMS(简称为微机电系统)生物芯片通过了客户验证，该客户已同步签署试产订单，启动首批MEMS生物芯片8英寸晶圆的小批量试生产。

MEMS制造工艺可以在微小的生物芯片中加工微纳米级别的泵、阀、管道、容器等，将生物传感器的复杂功能集成内置在芯片中，同时可以实现生物芯片的高灵敏度、高准确性、微创应用及低成本、大批量生产。

自2020年9月通线以来，赛微电子北京FAB3产线已经成功导入十余家国内外知名MEMS客户，已经开展合作的产品项目超过40个，正在持续推动MEMS硅麦、电子烟开关、惯性器件、BAW（含FBAR）滤波器、振镜、气体、微流控、光通信等不同类别、不同型号产品的工艺开发及产品验证。