白光干涉对于环境防振要求高的原因,主要可以从其测量原理和应用需求两个方面来解释。
一、测量原理
白光干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜分成两束,一束光经被测表面反射回来,另一束光经参考镜反射,两束反射光最终汇聚并发生干涉。两束相干光间光程差的任何变化都会灵敏地导致干涉条纹的移动,而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起的。因此,任何微小的振动都可能引起光程差的变化,从而导致干涉条纹的移动,进而影响测量结果的准确性。
二、应用需求
白光干涉仪通常用于高精度测量,如半导体制造、光学加工、汽车零部件制造等领域。在这些领域中,对测量结果的准确性要求极高,任何微小的误差都可能对产品质量和性能产生重大影响。因此,为了确保测量结果的准确性,必须尽可能减少环境振动对测量过程的干扰。
综上所述,白光干涉对于环境防振要求高,主要是因为其测量原理敏感于光程差的变化,而环境振动会干扰光程差的稳定性,从而影响测量结果的准确性。同时,高精度测量的应用需求也要求尽可能减少环境振动对测量过程的干扰。因此,在使用白光干涉仪进行测量时,需要采取一系列措施来减少环境振动的影响,如将仪器放置在稳定的平台上、使用减震装置等。
TopMap Micro View白光干涉3D轮廓仪
一款可以“实时”动态/静态 微纳级3D轮廓测量的白光干涉仪
1)一改传统白光干涉操作复杂的问题,实现一键智能聚焦扫描,亚纳米精度下实现卓越的重复性表现。
2)系统集成CST连续扫描技术,Z向测量范围高达100mm,不受物镜放大倍率的影响的高精度垂直分辨率,为复杂形貌测量提供全面解决方案。
3)可搭载多普勒激光测振系统,实现实现“动态”3D轮廓测量。
实际案例
1,优于1nm分辨率,轻松测量硅片表面粗糙度测量,Ra=0.7nm
2,毫米级视野,实现5nm-有机油膜厚度扫描
3,卓越的“高深宽比”测量能力,实现光刻图形凹槽深度和开口宽度测量。
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