薄膜方块电阻(Sheet Resistance)是薄膜材料最重要的电特性参数之一。随着集成电路由超大规模 (VLSI )向甚大规模(ULSI )发展，薄膜方块电阻大小是器件设计和器件制造过程中选择材料、控制工艺条件 的主要依据和决定器件质量的关键因素，因此薄膜方块电阻测试仪器的开发也越来越受到人们的关注。本设计基于 Rymaszewski 四探针双电测组合法，运用虚拟仪器技术设计了一快速的、高精度的薄膜方块电阻(Sheet Resistance)自动测量系统。……