半导体的多频率C-V测量和掺杂剖面分析!"#$ `Js !"#$ ! PPVJR ^áí=QNVQN^ L !"#$ ^áí=QNVQ^ !"#$% ^áí=QNVQ^ L !"#$%&'()*+,-./0E ^áí=QNVQN^L_ !" NMM=eò NMM=jeòF NKRLP !"#$%&'()*+, !"#$%&'()* !" !"#$ `Js !"#$% !"#$%& QNVQ^ !"#$%&'()*+ !"#$%&' QNVQ^ !"#$ !"#$%&' N=jeò `Js !"#$%&'()*+,!"#$ E NF !"#$%&'()*+,-.*" !"#$%&'( E NMM=eòF !" !"#$%&'()EF !"EF QNVQ^ eò NMM=jeò !"# NMM=eò QM=jeòE !"F !"#$%&'(#$%)*+,-. ^áí=QNVQN^L_ !"#$% NM !"#$% i`o !"E N PF !"#$%&'()* QNVQN^L_ !"#$ QNVQ^ !" !"# N !"#$%& !"#$%&'()*+,!" N=jeò !"#$%& P !"#$%&'() NMM=jeò `Js !"#$%&'( !"#$%&'()* `Js !"#$%&'()*+,-./0 QNVQ^ !"# !"#$%&EkEF tGF `Js !"#$%&'() !" `oq !" `Js !"#$% P !"#$%& !"#$%&'E !" R E^pmF SF !"#$%&'() G=kEFW =====W ! 2 wZoH `W= `W= oW= N gEOπE` H` FF !" !" ! NK=jlp ! OK= !EQNVQ^HQNVQN^L_F 3 4 PK=^pm ! 5 QK=^pm= 6 ……