硅是典型的具有半导体性质的元素，是很重要的半导体材料。据统计， 目前半导体器件的95%以上用硅材料制作，集成电路99%以上是用硅材料制作。 这个比例还在增大。尤其大规模集成电路（LSI）、超大规模集成电路（VLSI）、 甚大规模集成电路（ULSI）都是制作在高纯优质的硅单晶抛光片或外延片上。
