原创 关于MEMS

MEMS，即微机电系统，是一种结合机械和电子的半导体技术，最初大量用于汽车安全气囊，而后以MEMS传感器的形式被大量应用在汽车的各个领域，随着MEMS技术的进一步发展，以及应用终端“轻、薄、短、小”的特点，对小体积高性能的MEMS产品需求增势迅猛，消费电子、医疗等领域也大量出现了MEMS产品的身影。 由于MEMS传感器与传统传感器相比有体积小、价格便宜和便于集成等特点，一些使用在汽车关键电子部分的传统传感器逐渐被MEMS传感器所替代。该技术逐步成熟，可以制作检测力学量、磁学量、热学量等各种微型传感器，这些传感器的体积和能耗小，可实现许多全新的功能，便于大批量和高精度生产，单件成本低，易构成大规模和多功能阵列。 2000～2005年度车用MEMS传感器的主要增长领域包括以下几个方面：用于车辆动力学控制和安全气囊的加速度计；用于传动、刹车、冷却、轮胎、燃油等方面的压力传感器；用于车辆动态控制、翻车报警和GPS后备的偏航速率传感器；用于轮速以及凸轮轴、机轴、踏板位置敏感的位置传感器；车厢环境监控的湿度传感器；日光、雨水和湿度传感器；用于近距离障碍物检测和避撞的测距传感器。 随着MEMS传感器变得越来越敏感度高并且价格便宜，MEMS产品也开始在消费电子市场中占据一席之地。在导入MEMS技术后，便携式产品的体积更加超小型化，并可实现更多的功能。例如，MEMS麦克风就可以有效解决传统麦克风列阵所面临的问题，从而改进声音输入质量以支持诸如VOIP和语音识别等。防震、新人机接口、灵敏度高的RF模块、新光学与影像拍摄功能、定位系统、身份认证、较长的电池寿命等应用也借助MEMS技术得到了更好的实现。 由于MEMS产品多为定制化生产，因此实现量产一度是MEMS产业发展的一个重要问题。如今，许多公司都已经实现MEMS产品量产， 例如Akustica通过CMOS技术实现MEMS数字麦克风的量产，美新半导体的MEMSIC 器件也是基于单片 CMOS 集成电路制造工艺而生产出来的一个完整的双轴加速度测量系统。量产带来MEMS产品的规模经济效应，使其价格进一步下降，许多MEMS产品已经达到或接近市场承受价格，将会有更多的厂商使用MEMS产品。 国内的MEMS产业发展还处于导入期，北京青鸟元芯以及美新半导体在MEMS产业领域处于国内绝对领先地位，在国际市场上也有一定的影响力，同时国内也有许多大学研究机构，诸如北京大学、吉林大学、清华大学、西安交大、电子科技集团传感技术研究所等也都在积极开展MEMS研究及推进MEMS产业化进程的工作，我国政府部门也大力支持MEMS产业的发展，相信在未来几年内，我国MEMS产业将会有飞跃式的发展。