原创 美国Advanced Energy公司推出新型Luxtron®FluorOptic®传感平台，拓展高精度温测系列产品

美国Advanced Energy公司（纳斯达克：AEIS）—— 高度工程化精密电源转换、测量和控制解决方案方面的全球领导者——利用一种新型转换平台和两种独家专属荧光配方，拓展其FluorOptic® Thermometry（荧光光纤测温仪（FOT））解决方案中的Luxtron®系列产品。LuxtronM-1000转换器（带RubiluxTM 和VioLuxTM荧光配方）可在更大温度范围内实现高精准温度测量，解决最先进半导体蚀刻和沉积工艺中的一系列难题。

Luxtron M-1000配备新型光源和经过改进的低噪音光探测装置，具备双通道能力，低精度误差（±0.2°C），稳定性高出0.05°C，并且，具有行业内最宽的操作范围（-200°C至450°C）。该转换器经过优化，具有两种荧光配方，可适应全系列温度范围。

“对于在创建半导体装置（比如：3D NAND）中使用的先进高纵横比（HAR）蚀刻而言，晶圆温度是其中一项非常重要的工艺参数，”Jeff Hebb（美国Advanced Energy公司精密传感和控制部门战略营销副总裁）说到。“为优化HAR蚀刻工艺，先进的半导体制造商日益转向更广的操作温度（比如从低温吸盘到加热吸盘）。通过在更大温度范围内实现精准、可重复的测量，M-1000转换器和新型荧光配方能够胜任HAR工艺量产制造所要求的全系列温度范围测量。”

近几十年，美国Advanced Energy公司的Luxtron FOT传感技术凭借其高温测量所具有的高精度和广度操作范围一直处于行业领先地位。Luxtron FOT传感系统融合荧光涂层光纤探针和高性能转换器（该转换器集成先进光源、光测器专属软件算法和低噪音放大电路系统）。在强电磁领域（包括等离子蚀刻和沉积、MRI系统和变压器）内的各项工艺中，与传统电子传感器相比，由于Luxtron FOT系统所进行的温度测量基于其光纤传感，因此，其具有更卓越的高精度性。