摘　要:用小波变换的方法分析了纳米多层膜的X射线掠入射反射率测试曲线．从小波变换的自相关函数峰位和峰强度信息中得到了常规曲线拟合方法难以表征的含有氧化层、界面层或厚度漂移的多层膜结构，利用其作为多层膜的初始结构再进行常规的曲线拟合，可实现多层膜结构精确表征的目的．研究成功地鉴别出钒单层膜的表面存在约3nm厚的氧化层，分析得到Mo／Si多层膜的界面纯粗糙度约0．42nm，表明在Ni／C多层膜中接近表面和基底的膜层存在大于5％的厚度漂移．[著者文摘]……