本文提出了一种新的可靠的圆片级1/f噪声测量方法和架构 圆片级 1/f 噪声的一种新测量方法 北京大学微电子学院，北京，100871，中国 * P Email: kangjf@pku.edu.cn P HTU UTH 吉时利仪器公司，Aurora 路 28775，克里夫兰，俄亥俄州，44139，美国 应用研发部， 吉时利仪器公司，北京海淀区北太平庄路城建大厦 A1301， 100088， 中国 摘要 本文提出了一种新的可靠的圆片级 1/f 噪声测量方法和架构。所 提出的测试架构采用了吉时利的系列仪器， 包括 4200-SCS、428 和一 个低通滤波器。其中采用了吉时利的自动特征分析套件（ACS）软件 来控制测量仪器的操作，采集/分析测得的数据。由于所用的低通滤 波器能够消除所有高于 0.5 Hz 的高频噪声，因此大大提高了 1/f 噪声 的测量精度。利用这一测量架构能够在各种偏压条件下评测具有不同 尺寸的 NMOS 和 PMOS 器件的 1/f 噪声特征。 1. 引言 MOSFET在模拟和射频电路中得到了广泛的应用。但是，MOSFET中的低频 噪声，尤其是较高频率的1/f噪声，是模拟和射频电路应用中人们关注的重要因素。 此外，随着器件特征尺寸的缩小，1/f噪声会大大增加[参考文献1]。因此，在测 量1/f噪声时设计一套可靠的、可重复的、精确的测量方法和系统是非常……