原创 Mach-Zehnder型干涉（马赫-曾德尔干涉）的测量原理

Mach-Zehnder型干涉（马赫-曾德尔干涉）的测量原理主要基于光的干涉现象和相位差的变化。以下是对其测量原理的详细解释：

一、基本原理

马赫-曾德尔干涉仪利用分束器将单一光源发出的光线分为两条光路，这两条光路分别经过不同的路径后再合并在一起。在合并处，两束光会发生干涉现象，形成明暗相间的干涉条纹。这些干涉条纹的形状、间距和位置取决于两条光路的相位差，而相位差又与被测物体的某些特性（如折射率、厚度等）有关。因此，通过观察和分析干涉条纹的变化，可以推断出被测物体的特性。

二、光路设计

马赫-曾德尔干涉仪的光路设计包括光源、分束器、两个光波导（或光路）、相位调制器（在某些应用中）和检测器等组件。其中，光源可以是激光等单一波长的光源；分束器用于将入射光分为两束；两个光波导分别引导两束光经过不同的路径；相位调制器（在某些情况下）用于改变其中一束光的相位；检测器则用于观测干涉条纹并记录测量结果。

三、相位差与干涉条纹的关系

在马赫-曾德尔干涉仪中，两条光路的相位差是由光程差决定的。光程差是指两束光在传播过程中经过的路径长度之差。当两束光在合并处相遇时，它们的相位差会导致干涉条纹的形成。具体来说，当相位差为2nπ（n为整数）时，两束光相干加强，形成亮条纹；当相位差为(n+1/2)π时，两束光相干减弱，形成暗条纹。因此，通过观察干涉条纹的明暗变化，可以推断出两条光路的相位差。

四、测量原理与应用

马赫-曾德尔干涉仪的测量原理是通过改变其中一条光路的相位（例如通过改变光波导中的折射率或长度），并观察干涉条纹的变化来测量被测物体的特性。这种干涉仪在光学、量子计算等领域有着广泛的应用价值。例如，它可以用于测量光的波长、折射率、厚度等参数；还可以用于光学传感和光学信号处理等方面。此外，马赫-曾德尔干涉仪还常用于光纤通信系统中的光信号调制和解调等应用。

五、注意事项

在使用马赫-曾德尔干涉仪进行测量时，需要注意以下几点：

确保光源的稳定性，以避免光源波动对测量结果的影响。

精确控制光路中的各个组件，以确保测量的准确性。

注意环境因素的影响，如温度、振动等，这些因素可能会对测量结果产生干扰。

在进行复杂测量时，可能需要采用更高级的数据处理和分析方法。

综上所述，Mach-Zehnder型干涉（马赫-曾德尔干涉）的测量原理是基于光的干涉现象和相位差的变化。通过观察和分析干涉条纹的变化，可以推断出被测物体的特性。这种干涉仪在光学、量子计算等领域具有广泛的应用价值。

TopMap Micro View白光干涉3D轮廓仪

一款可以“实时”动态/静态 微纳级3D轮廓测量的白光干涉仪

1)一改传统白光干涉操作复杂的问题，实现一键智能聚焦扫描，亚纳米精度下实现卓越的重复性表现。

2)系统集成CST连续扫描技术，Z向测量范围高达100mm，不受物镜放大倍率的影响的高精度垂直分辨率，为复杂形貌测量提供全面解决方案。

3）可搭载多普勒激光测振系统，实现实现“动态”3D轮廓测量。

实际案例

1，优于1nm分辨率，轻松测量硅片表面粗糙度测量，Ra=0.7nm

2，毫米级视野，实现5nm-有机油膜厚度扫描

3，卓越的“高深宽比”测量能力，实现光刻图形凹槽深度和开口宽度测量。