原创 激光面型干涉仪和白光干涉仪的区别

激光面型干涉仪和白光干涉仪都是基于干涉原理的光学测量仪器，但它们在光源、干涉条纹、测量范围、稳定性以及应用领域等方面存在显著的差异。以下是对这两种仪器的详细比较：

一、光源

激光面型干涉仪：通常采用单频、稳定输出的激光器作为光源，如氦氖激光器，提供连续且波长已知的激光束。

白光干涉仪：使用白色光源，白光属于多色光，具有连续的光谱。

二、干涉条纹

激光面型干涉仪：由于激光的单色性好，相干性强，因此干涉时主要形成黑白的干涉条纹。

白光干涉仪：由于光源包含多种波长的光波，干涉时会形成彩色的干涉条纹。

三、测量范围与精度

激光面型干涉仪：激光具有高强度和相干性好的特点，因此激光面型干涉仪可以用于高精度的微小尺寸测量，如纳米级的薄膜厚度测量和平面度测量。

白光干涉仪：白光干涉仪则更加适合于表面形貌的大范围测量，如飞机发动机叶片的表面形貌测量、飞机机身的表面平整度检测等。同时，白光干涉仪也能提供较高的测量精度，但相对于激光面型干涉仪，其测量范围更广。

四、稳定性

激光面型干涉仪：激光干涉仪在干涉时需要保持激光光源的稳定性，以保证干涉条纹的清晰度。因此，激光面型干涉仪对光源的稳定性要求较高。

白光干涉仪：相对于激光面型干涉仪，白光干涉仪对光源的稳定性要求不那么严格。

五、应用领域

激光面型干涉仪：主要用于光学元件和平面的平面度、平整度、厚度、微小位移等精密几何参数的测量。广泛应用于光学元件制造业、精密机械加工、半导体工业、航空航天等领域。

白光干涉仪：除了可以用于测量物体表面形貌、薄膜厚度等参数外，还可以用于材料科学、生物医学等领域的研究。如细胞及组织的三维重建、血液流动速度的测量等。

综上所述，激光面型干涉仪和白光干涉仪在光源、干涉条纹、测量范围与精度、稳定性以及应用领域等方面存在显著差异。选择哪种仪器取决于具体的测量需求和应用场景。

TopMap Micro View白光干涉3D轮廓仪

一款可以“实时”动态/静态 微纳级3D轮廓测量的白光干涉仪

1)一改传统白光干涉操作复杂的问题，实现一键智能聚焦扫描，亚纳米精度下实现卓越的重复性表现。

2)系统集成CST连续扫描技术，Z向测量范围高达100mm，不受物镜放大倍率的影响的高精度垂直分辨率，为复杂形貌测量提供全面解决方案。

3）可搭载多普勒激光测振系统，实现实现“动态”3D轮廓测量。

实际案例

1，优于1nm分辨率，轻松测量硅片表面粗糙度测量，Ra=0.7nm

2，毫米级视野，实现5nm-有机油膜厚度扫描

3，卓越的“高深宽比”测量能力，实现光刻图形凹槽深度和开口宽度测量。