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2025-1-10 15:30
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不同的真空吸附方式,对测量晶圆 BOW 的影响
在半导体产业蓬勃发展的当下,晶圆作为芯片制造的基础材料,其质量把控贯穿整个生产流程。其中,晶圆的 BOW(弯曲度)测量精度对于确保后续工艺的顺利进行以及 ...
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2025-1-9 17:09
晶圆的环吸方案相比其他吸附方案,对于测量晶圆 BOW/WARP 的影响
在半导体制造领域,晶圆的加工精度和质量控制至关重要,其中对晶圆 BOW(弯曲度)和 WARP(翘曲度)的精确测量更是关键环节。不同的吸附方案被应用于晶圆测量过 ...
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ONEZ
2025-1-9 11:00
反射镜的移动,实现白光干涉中的机械相移原理
在白光干涉测量中,通过反射镜的移动来实现机械相移原理是一种常见且有效的方法。以下是对这一原理的详细解释: 一、基本原理 白光干涉测量技术基于光的波动 ...
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一、引言 在半导体制造业中,外延生长技术扮演着至关重要的角色。化学气相沉积(CVD)作为一种主流的外延生长方法,被广泛应用于制备高质量的外延片。而在CVD ...
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2025-1-8 11:06
通过样品台的移动,实现白光干涉中的机械相移原理
在白光干涉测量技术中,通过样品台的移动来实现机械相移原理是一种常用的且高精度的方法。这种方法基于光的波动性和相干性,通过改变样品台的位置,即改变待测 ...
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减少减薄碳化硅纹路的方法
碳化硅(SiC)作为一种高性能半导体材料,因其出色的热稳定性、高硬度和高电子迁移率,在电力电子、微电子、光电子等领域得到了广泛应用。在SiC器件的制造过 ...
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白光干涉中,通过样品台的移动,实现机械相移技术
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