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ONEZ 2024-12-5 14:18
有什么方法可以去除晶圆键合边缘缺陷?
去除晶圆键合边缘缺陷的方法主要包括以下几种: 一、化学气相淀积与平坦化工艺 方法概述: 提供待键合的晶圆。 利用化学气相淀积的方法,在晶圆的键合面 ...
ONEZ 2024-12-4 10:51
磨料形貌及分散介质对4H碳化硅晶片研磨质量有哪些影响
磨料形貌及分散介质对4H碳化硅(4H-SiC)晶片研磨质量具有显著影响。以下是对这一影响的详细分析: 一、磨料形貌的影响 磨料形貌是研磨过程中影响4H-SiC晶 ...
ONEZ 2024-12-3 10:14
改善晶圆出刀TTV异常的加工方法有哪些?
改善晶圆出刀TTV(Total Thickness Variation,总厚度变化量)异常的加工方法主要包括以下几种: 一、设备调整与优化 主轴与承片台角度调整 通过设备自动 ...
ONEZ 2024-12-2 20:24
怎么制备半导体晶圆片切割刃料?
半导体晶圆片切割刃料的制备是一个复杂而精细的过程,以下是一种典型的制备方法: 一、原料准备 首先,需要准备高纯度的原料,如绿碳化硅和黑碳化硅。这些 ...
ONEZ 2024-11-19 14:31
降低晶圆TTV的磨片加工有哪些方法
降低晶圆TTV的磨片加工有哪些方法 降低晶圆TTV(Total Thickness Variation,总厚度变化)的磨片加工方法主要包括以下几种: 一、采用先进的磨削技术 硅片 ...
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