基于厚膜集成技术,实现具有高速触发和时间内插功能的数模微系统的集成.该系统触发和采样时钟的频率达到500MHz,触发晃动小于10%div,内插时间分辨率小于20ps. 高速触发、时间内插数模微系统集成 王宇，翟向坤，李泽宏 （电子科技大学微电子与固体电子学院，四川成都６１００５４） 摘要：基于厚膜集成技术，实现具有高速触发和时间内插功能的数模微系统的集成。该系统触 发和采样时钟的频率达到５００ＭＨｚ，触发晃动小于ｌＯ％ｄｉｖ，内插时间分辨率小于２０ｐｓ。 关键词：高速触发时间内插厚膜集成技术微系统集成 采样速度和信号处理的精度是数字示波器性能优 时基电路，同时输出到时间内插电路；触发信号通过时 劣的重要标志。高速触发电路是数字示波器采样速度的 间内插电路的鉴别器与时钟信号相比较，输出触发点与 基础，时间内插技术是为提高数字示波器信号处理精度 采样点之间的时间差△ｒ，再由双积分扩展电路对△ｒ 而发展的技术。数字示波器通常由ＥＣＬ电路组成，以满 扩展，输出锯齿斜波信号，并对锯齿斜波信号进行峰值 足其高采样速率的要求，但ＥＣＬ电路功耗大，高速触发 采样、电压保持完成时问一电平转换。本微系统是高速 和时间内插数模微系统的功耗约为１０Ｗ。如果单纯依靠 数模混合系统，时钟信号的频率范围为１２５ＭＨｚ～ 传统印制板电路（ＰＣＢ）技术很难满足系统的要求，原因 ５００ＭＨｚ，上升时间／下降时间小于５ｎｓ。 是ＰＣＢ的导热率低，并且其互连与封装的寄生效应大， ２后端设计和物理实现 对提高信号的频率有很大影响。目前国外示波器生产商， 本系统采用厚膜技术实现。选取合适的基片材料是 如ＴＥＫ和ｋＣｒｏｙ等所用到的高速触发和时间内插电路 用厚膜技术实现系统的首要工作，确定基片材料之……