微电子CMOS流程 微电子工艺技术 引 言 集成电路制造工艺流程录像 （美国斯坦福大学） 1 2 引 言 以 清 华 大 学 微 电 子 所 北 方 基 地 工艺原理课程采用讲课与使用多 工艺原理课程采用讲课与使用多 CMOS 工艺为背景，录制了全套工 媒体课件计算机教学相结合。 媒体课件计算机教学相结合。 艺线录象, 艺线录象,购置美国斯坦福大学的 工艺多媒体教学系统中的工艺模 工艺多媒体教学系统中的工艺模 CMOS IC制造工艺录象带。学生可 IC制造工艺录象带。学生可 拟程序，学生通过交互式的模拟 拟程序，学生通过交互式的模拟 以观看这些录象，了解 IC生产车 IC生产车 界面（与实际设备类似），进行 ……