金属化工艺 一、基本概念 金属化 第八章 金属化工艺 将晶片上制成的各种元器件用互连薄膜材料（通常为金属） 的线条连接起来构成具有各种功能的集成电路的工艺。 －－接触与互连 为了将半导体器件与外部有效地联系起来，必须首先在半导体 和互连线之间制作接触。 ……