VDMOS(VMOS) 、UMOS (UDMOS、UVDMOS)

采用DMOS工艺的VMOS最初称为VDMOS( Vertical  Double-diffusedMOSFET，垂直沟道，双扩散MOSFET)和VVDMOS( V-groove  VerticalDouble-diffused MOSFET,V形槽栅垂直沟道双扩散MOSFET)。这是直到目前仍然是绝对主流的功率MOSFET品种。因此在国内，如果没有特别说明，VMOS大都是泛指，在外文资料中，很多时候也是如此。

另一种与VMOS非常相近的是UMOS，顾名思义，这种功率区的形状与英文字母“u”非常相似(图1. 17)。

因为UMOS出现时，DMOS丁艺已经成为主流，UMOS理所当然地会采用DMOS工艺，因此UMOS最初称为UDMOS(U-groove Double-diffusedMOSFET,U形槽栅双扩散MOSFET)、UVDMOS(U-groove Vertical  Double-diffused MOSFET,U形槽栅垂直沟道双扩散MOSFET)。除非有特别说明，UMOS与UDMOS,UVDMOS并无不同。