GT案例研究:评估蓝宝石颜色对LED制造工艺影响
空白小盒子 2022-05-18

  GT Advanced Technologies公司公布案例研究,说明GT ASF粉色蓝宝石可用于生产出传输速度最高的LED晶圆。

  独立分析得出结论称,晶圆中发现的少量颜色与GT高级蓝宝石熔炉生长材料的颜色没有关系。

  GT Advanced Technologies Inc.日前公布了一项案例研究,详述了一系列盲型材料研究的发现,该系列研究评估了蓝宝石颜色对LED制造工艺的影响。研究表明,无论来源如何,所有蓝宝石均在核心处显现出颜色,GT高级蓝宝石熔炉(ASF)材料的粉色并不表示宝石含有杂质,粉色ASF蓝宝石对LED制造工艺没有不良影响,也无需采取其它步骤或花费更多成本去除粉色。此外,研究表明,在所检验的样品中,GT ASF粉色蓝宝石材料能够用于生产出吸收率最低、传输速度最高的LED晶圆。

  所有研究均采用GT ASF蓝宝石材料盲型样本以及其它来源的LED级蓝宝石进行。案例研究结果从独立进行的辉光放电质谱法(GDMS)分析以及高亮度(HB)LED装置制造研究中得出,高亮度(HB)LED装置制造研究采用光热共光路干涉仪(PCI)分析进行。

  蓝宝石材料和设备部门副总裁兼总经理Cheryl Diuguid说:“GT为LED行业提供蓝宝石已超过12年时间。这些研究进一步验证了我们长久以来从材料客户那里听到的积极反馈——ASF蓝宝石生长材料拥有卓越的质量和性能,尽管它有一点粉色。近期案例研究的发现证实了我们长久以来所了解到的,即GT的ASF工具可生产出质量最好的蓝宝石材料,并且表现出对LED制造商来说最为重要的特质。包括只有少量或没有气泡这类严重缺陷,表面粗糙度(Ra)、总厚度变动(TTV)、弯曲度和弧度以及最终的高晶圆产量等关键LED晶圆参数方面表现良好。”

  这个新研究是由GT发起的一项更广泛的材料特性项目的一部分,该项目旨在研究蓝宝石材料特性对高亮度LED价值链的整个制造工艺的影响。

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