电容薄膜真空计的结构原理
网络整理 2021-10-20

电容薄膜真空计是一种绝压、全压测量的真空计,原理是把加于电容薄膜上的压力变化产生膜片间距离的变化,即产生了电容的变化,再通过鉴频器把电容变化转换成为电流或电压的变化,组成为输出信号,所以,它的测量是直接反映了真空压力的变化值,而且只与压力有关,与气体成分无关,即:薄膜真空计是一种直接测量式的、全压型的真空计。

电容式薄膜真空计原理

根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容式薄膜真空计,它由电容式薄膜规管(又称为电容式压力传感器)和测量仪器两部分组成。根据测量电容的不同方法,仪器结构有偏位法和零位法两种。零位法是- :种补偿法,具有较高的测量精度。目前在计量部门作为低真空副标准真空计的就是采用零位法结构。

薄膜电容真空计原理

图示出了零位法电容式薄膜真空计的结构原理图。它由电容式薄膜规管、测量电桥电路、直流补偿电源、低频振荡器、低频放人器、相敏检波器和指示仪长等组成。

电容式薄膜现管的中间装者张 金属弹性膜片,在膜片的侧装有一个固定 电板,当膜片两侧的压差为零时,固定电极与膜片形成“个静态电容Co,它与电容C1串联后作为测量电桥的条桥臂, 电容C2、C3和C4与Cs的串联电容组成其它三条桥臂。

金属弹性膜片将薄膜真空规管隔离成两个室,分别为接波测真空系统的测室和接高真空系统(pb《10-*Pa)的参考压力室。在这两个室的连通管道上。设置一个高真空阀门7。测量时,先将阀门7打开,用高真空抽气系统将规管内膜片两侧的空间抽全参考压力pbe同时调节测量电桥电路,使之平衡,即指示仪衣指零。然后,关闭阀门7,测量室接通被测真空系统。当被测压力P》Pb时,由于规管中的压力差P1-Pb,膜片发生应变引起电容Co改变,破坏了测量电桥电路的平衡,

pb一 参考压力

U一一补偿电压

K一规管常数, 其值K=Co/d,Co和do分别为固定电极与膜片在平衡状态下的静态电容和问距。

当p1》po时,测量结果就是绝对压力,即

p1=KU? (13)

电容式薄膜真空计测量范围为10^1~ 10”Pa,其规管常数K可通过校准得到。

近年来,电容式薄膜真空计取得了重大进展,新型的双电容式薄膜真空计的问世,提高了该类真空计的精度,扩展了测量范围,使其测下限可达l0^3Pa。

单侧双电容薄膜真空计具有灵敏度高、气体的介电常数不变、压万读数完全不受气体成分影响、反应速度快等特点。如将其规管參考室内加置消气剂并抽至≤l0°5Pa,就可测量zlO“pa的绝对压力。

薄膜真空计缺点

薄膜真空计也不是没有缺点的,首先是价格高,国内一般是4-6千元,量限低的贵些;进口则1.6—2.5万元/只左右;其次,国内老式的薄膜规容易零漂,需要经常校正,要求高的经常校正。主要是技术陈旧,国内材料科学相对落后造成的,温度稳定性不好;还有一个量程跨度小,国内的不超过3个数量级。第三是老式电容规规娇气,容易坏,用过的度知道,有油污进去很难清洗,要用丙酮,清洗挽救1\3往往会报废,小量程的2\3会坏

薄膜电容参数相关

电容器的电容量就是表征电容器存储电荷能力的参数,它在数值上等于极板上存储的电荷量Q与极板上所加的电压U之比。

电容上的684用的是数字计数法,这种计数法一般是3位数字,左边的位和中间的一位数字是有效数字,右边的一位数字是表示倍数,也就是10的多少次方,如果没有标明单位,一般默认是pF。如果是带小数点的数字,同时没有标明单位,则单位是uF。

薄膜电容读法和色环电阻的读法类似,三位数字中前两位是系数,后一位是10的指数。104就是10乘以10的4次方,等于100000pF,也就是100nF。

声明: 本文转载自其它媒体或授权刊载,目的在于信息传递,并不代表本站赞同其观点和对其真实性负责,如有新闻稿件和图片作品的内容、版权以及其它问题的,请联系我们及时删除。(联系我们,邮箱:evan.li@aspencore.com )
0
评论
热门推荐
  • 相关技术文库
  • 测试
  • 测量
  • 示波器
  • 探头
  • 如何根据眼图情况分辨信号质量

    眼图,是由于示波器的余辉作用,将扫描所得的每一个码元波形重叠在一起,从而形成眼图。 本文将带领大家了解PCB上的眼图是什么,眼图是怎样形成的,眼图中包含有哪些信息,如何根据眼图情况分辨信号质量。 想看 懂示波器眼图需要掌握以下4点: 一、什么是眼图

    05-06
  • 拆机分析排查充电异常

    异常现象:机器充不了电,拆机测量充电输入正负极,两极短路,焊下TVS管,测量充电输入正负极没有短路,测量焊下来的TVS管,TVS管短路。   分析排查过程: 1,检查充电座输出电压是否异常。    a,用万用表测量充电座输出电压,电压在20V左右,电压正常。    b,

    04-26
  • 示波器解决LCD显示异常实例

    调试液晶屏显示异常时,需要通过异常现象反复修改驱动参数,过程相当繁琐。使用ZDS4054 Plus长存储示波器,捕获完整驱动时序,使调整液晶屏驱动参数变得简单快捷! 液晶屏幕使用多屏拼接时,容易出现显示图像重复、错位等帧同步异常,以往需要根据异常现象进

    04-25
  • 示波器探头衰减和输入阻抗匹配是两个概念

    示波器探头有X1和X10档,当测量一个信号时应该如何选择? 1、先我们看它们的区别? X1档,表示信号没有经过衰减进入示波器 X10档,表示信号衰减10倍进入示波器(当示波器也设置为X10档,直接读数即可,当示波器设置为X1档,示波器上读数应扩大10倍才为真实值

    04-23
  • 示波器基础知识总结(华为资料)

    推荐阅读: 点击下方『面包板社区』卡片关注我们, 每天学点电子技术干货 ▲ 点击关注,后台回复"关键词",领取300 G学习资料包!  内容合作 | 视频、课程合作 | 开发板合作| 转载开白  请联系小助手微信:15889572951(微信同号) 点击阅读原文,下载《示波

    04-21
  • 医疗电源模块对可编程交流电源的要求

    医疗器械设备通常直接与人体接触,事关人身安全。品质是评判医疗器械设备的最关键指标。可编程交流电源助力医疗器械内部电源模块性能测试验证,严格把控品质,以满足医疗法规强制要求。 医疗器械(如影像设备、免疫分析仪、扫描仪、超声设备、医疗测量仪器等

    04-21
  • 频谱分析仪是如何工作的?

        本文的目的是为您提供关于频谱仪或信号分析仪的基本概述。您或许想要进一步了解与频谱分析相关的更多其他话题,您可访问频谱分析仪网页。这里将重点介绍频谱分析仪工作的基本原理。虽然今天的技术使得现代数字实现替代许多模拟电路成为可能,但是从经典的

    04-19
  • 如何测试二极管反向恢复电流?

    从中可以看到,反向电流是可以很大的,甚至是可以超过正向时的电流 可以看到,举例的两个二极管可以看到明显的差异。 推荐阅读: 点击下方『面包板社区』卡片关注我们, 每天学点电子技术干货 ▲ 点击关注,后台回复"关键词",领取300 G学习资料包!  内容合

    04-15
  • 如何技术电缆材料用量

    1、导体的重量=截面积*导体比重(铜是8.89,铝是2.7) 如铜电线120平方毫米计算:120*8.89=1066.8kg/km 2、导体用量(Kg/Km):=d^2*0.785 * G * N * K1 * K2 * C 符号【^】表示:除号 “d“表示:导体线径 “G”表示:导体比重 “N”表示:条数 “K1”表示:

    03-31
  • AWTK Designer 1.1 更新功能

    为不断提升用户体验,AWTK Designer 1.1正式发布,此版本增加了许多新功能,并对现有功能进行了优化,一起来感受下吧!   AWTK Designer是专门用来制作AWTK应用程序UI界面的实用工具,只要通过拖曳和点击就可以完成复杂的界面设计,操作简单,并且可以随时预

    03-12
  • 如何在不间断测试中抓捕记录跳变信号?

    工程师在日常测试中,是否有遇到产品不稳定经常被干扰、偶发性问题又抓不到这样的技术问题?例如时序的波动、幅值的跳变等。如何在连续不间断的测试中抓捕并记录这些跳变信号,提升产品品质?本文给出答案。   波形数据可以反馈产品的基础逻辑,只要产品出现

    03-11
  • 军用万用表,一件70年前的古董

    这个就是我们今天的主角,一块跟随着飞虎队远渡重洋,来到反法西斯第一战场的万用表。 挡位切换旋钮。当年所有设备全是电子管,部分管子阳极需要高达1500V的电压,因此设有1500V电压挡。 挡位旋钮下面的字:signal corps U.S. Army,美国陆军通信部队Test Set

    02-19
下载排行榜
更多
广告
X
广告