• 电子封装陶瓷基板及其金属化工艺

    摘 要: 随着大功率器件朝着高压、高电流以及小型化的方向发展,这对于器件的散热要求变得更为严格。陶瓷基板因其卓越的热导率和机械性能,被广泛应用于大功率器件的封装工艺中。本文首先综合评述了高导热 Al2O3、SiC、AlN 和 Si3N4 陶瓷的制备方法、性能特点以及研究进展,并探讨了不同成分和工艺与陶瓷热导率的关系。接着,文章详细介绍了直接沉积铜、直接键合铜、活性金属焊接、激光活性金属化和厚印刷铜等金属化技术的工艺流程及研究现状,同时指出了这些金属化技术的热点问题和存在的不足。最后,对各类陶瓷基板及其金属化工艺的未来发展进行展望。 电子元器件在电路中发挥滤波、整理、信号处理和信号控制等作用,被广泛应用于各种电气设备中[1,2]。电子元器件通常对温度极为敏感,超过 55 %的电子元器件故障源于热失效[3]。因此,为电子元器件提供良好的散热环境至关重要。随着集成电路的发展,大功率器件正朝着高电压、大电流、大功率密度及小型化的方向发展,这导致大功率器件会在更高的温度下工作。例如 SiC 功率器件可以实现超过 1000 W/cm2 的功率密度,可能在高达 500 °C 的极端环境中工作[4],而其他功率半导体器件的工作温度也可能超过 250 °C[5],这使热管理成为电子封装领域的一大挑战。器件产生的热量需先传递至基板,再由基板散发出去,这对基板的机械可靠性和热导率提出了较高要求。 目前,常见基板的性能特性如表 1 所示。环氧玻璃布层压板(FR-4)和覆金属基板是电子设备中常见的基板。然而,它们较低的热导率和较高的热膨胀系数(Coefficient of Thermal Expansion,CTE)限制了它们在恶劣环境中的应用。相比之下,陶瓷基板虽然材料和工艺成本更高,但其热导率可达到200 W/m·K,CTE 与硅接近,并且具有更高的可靠性,因此广泛应用于微电子封装、传感器和无源元件等领域[1]。电子封装中使用的陶瓷基板制备流程和应用领域如图 1 所示。陶瓷粉末与添加剂混合并成型,经烧结得到致密的陶瓷基板。由于陶瓷基板为绝缘体,需进行金属化处理,形成导电金属层以供器件安装和电气连接。最后将器件安装在金属化陶瓷基板上应用。这种工艺广泛应用于发光二极管(Light-Emitting Diode,LED)、绝缘栅双极晶体管(Insulate-Gate Bipolar Transistor,IGBT)、SiC 器件和大功率激光器件等领域。随着人工智能、汽车电气化与智能化、航空航天、军工等行业的蓬勃发展,对高导热基板的需求不断增长。据 QYresearch 报道[6],2022年全球金属化陶瓷基板市场规模达到 11.3 亿美元,预计到2029 年将增至 41.5 亿美元,年复合增长率为18.23 %,显示出陶瓷基板广阔的市场前景,其技术与要求也将不断进步与发展。 为进一步推动陶瓷基板领域的发展,本文首先概述了当前电子封装中所使用的陶瓷基板的制备工艺。其次综述了 Al2O3、SiC、AlN 和 Si3N4 在热导率和力学性能方面的研究进展。接着,探讨了直接沉积铜(Direct Plating Copper,DPC)、直接键合铜(Direct Bonded Copper,DBC)、活性金属焊接(Active Metal Brazing,AMB)、激光活性金属化(Laser Activated Metallization,LAM)和厚印刷铜(Thick Printed Copper,TPC)等多种平面陶瓷基板金属化工艺的流程和研究现状。最后,基于综述内容,总结相关进展并展望未来发展方向。 2 电子封装的高导热陶瓷基板 2.1 高导热陶瓷基板的制造工艺 大功率器件所使用的陶瓷基板多为平面状,平面陶瓷基板的制造工艺可分为成型与烧结两步。报道中常见的成型工艺及特点如表 2 所示。其中干压成型和流延成型广泛用于陶瓷基板的工业化生 产。干压成型的工艺流程如图 2a 所示,施加压力和保压时间是干压过程中最重要的参数。流延成型被认为是制造大尺寸平面陶瓷基板的一种经济、连续和自动化的工艺[9],其工艺如图 2b 所示。流延成型在制备多层材料及器件方面具有低成本和高效率的特性[10],广泛用于制造诸如低温共烧陶瓷基板、电容器和微波介电陶瓷器件。 陶瓷的烧结是将陶瓷粉末在高温下形成致密陶瓷块体的过程。高导热的 SiC、AlN 和 Si3N4 等陶瓷因其具有特别强的共价键而难以使用纯的陶瓷粉末烧结成致密的陶瓷块体。通常通过掺入低熔点的添加剂并混合成型再一起烧结,以提高烧结体致密度。烧结按烧结过程是否形成液相分为固相烧结和液相烧结,两者的驱动力都是总表面能的减少。固相烧结是一种无需液相参与的陶瓷致密化方法,该过程主要通过三种机制实现:蒸气传输、表面-晶格-晶界扩散以及由位错迁移驱动的塑性变形,这些机制共同促进陶瓷内部颗粒间有效的致密连接[11]。液相烧结是添加剂在高温下转变成液态,形成固体颗粒和液相处于化学平衡的系统[12],并且随着烧结的进行,陶瓷的晶粒生长和致密化同时发生的一种烧结工艺。若按照工艺区分,烧结工艺还可以分为无压烧结(Pressureless Sintering,PLS)[13]、气压烧结(Gas Pressure Sintering,GPS)[14]、(Hot Press Sintering,HPS)[15]、热等静压烧结(Hot Isostatic Pressure Sintering,HIPS)[16]、放电等离子烧结(Spark Plasma Sintering,SPS)[17]等。其中 SPS、HPS 和HIPS 由于条件要求高或工艺复杂,不适合大规模生产陶瓷基板。 2.2 高导热陶瓷基板的研究现状 电子封装过程需要将模块封装在陶瓷基板上,所以要在陶瓷基板上形成一定厚度的金属层,以便于模块的焊接和电气连接,这需要满足多个指标。首先,陶瓷基板有两个主要功能:为功率模块提供结构支撑,需要高绝缘性和良好的力学性能;为功率模块散热,需要高导热性[2]。其次,陶瓷基板在某些电路中用作共模电容器,需要考虑其介电常数[26]。通常情况下,信号传播延迟与介电常数值的平方根成正比;因此,介电常数越低,信号传输速度越快,这就要求陶瓷基板具有较低的介电常数[27]。此外,许多陶瓷材料的热导率和击穿电阻随着环境温度的升高而降低,因此需要确保陶瓷在高温条件下仍能保持良好的性能。 在 1999 年出版的《先进电子封装》一书中,Ulrich 等人[28]讨论了各种陶瓷材料的性能,如表 3常见的陶瓷材料的性能[33]所示。Al2O3具有较低的强度和导热性,因此很难应用于大功率器件。BeO具有极高的热导率,但由于毒性问题,其工业应用受到严格限制[29]。BN 具有很高的热导率,但其抗弯强度低、介电损耗系数高,因而受到限制。SiC 具有优良的导热性能和适中的机械强度,但其相对较高的介电常数可能限制其在电子封装领域的应用。AlN 陶瓷具有较高的热导率、适中的抗弯强度和出色的电气性能,因此被广泛应用。Si3N4的突出特点是强度非常高,CTE 接近硅,但实际的热导率远低于本征热导率(450 W/m·K)。目前商用的高导热陶瓷基板主要包括 Al2O3、SiC、AlN 和 Si3N4基板。对于大功率器件而言,陶瓷基板的热导率是一个至关重要的性能指标,下面,本文将分别探讨这些陶瓷在该方面的研究进展。 2.2.1 Al2O3 基板 Al2O3 有多种晶体形式,如α-Al2O3、β-Al2O3、γ-Al2O3、η-Al2O3、δ-Al2O3 和θ-Al2O3[30]。其中,最稳定的为α-Al2O3,即刚玉。其它形态的 Al2O3 在 950 oC~1700 oC 时会转变成稳定的α-Al2O3[31]。α-Al2O3 是一种重要的材料,由于其硬度高、熔点高、电导率低,在电子、光学、生物医学和机械工程中有许多技术应用[32]。不同纯度的 Al2O3 的性能如表 4 所示。随着纯度的增加,Al2O3 的热导率、抗弯强度和 CTE 都有明显的增加。Al2O3 的热导率远低于 AlN,所以其在导热方面的研究报道较少。但由于 Al2O3 的制备工艺简单、成本低廉以及其它优异性能,仍可以在低功率场景应用以降低成本。《GB/T39863-2021 覆铜板用 Al2O3 陶瓷基片》对 Al2O3 基板的性能标准进行规范[33],其部分指标为:纯度≥96 %、室温热导率≥24 W/m·K 和抗弯强度≥300 MPa。 2.2.2 SiC 基板 SiC 有立方结构、六方结构和正交结构等多种晶体结构[34]。其中,立方结构是指 β-SiC,其余结构统称为 α-SiC。在低温环境下,β-SiC 更为稳定,当温度超过 2000 °C 时,会发生 β-SiC到 α-SiC 的相变。即便如此,在不纯的 SiC 体系中,当温度超过 1600 °C 时,也可能发生 β 相向 α 相的转变[35]。SiC 由于其高强度、高刚度和优异的耐腐蚀性、抗氧化性和辐照性,是恶劣环境中的重要结构材料[36]。SiC 的本征热导率为 490 W/m·K[37],但本文调研的 SiC 热导率的最大值(270 W/m·K)仅达到本征热导率的55.1 %,仍有非常大的提升空间。这是由于晶粒内晶格缺陷、晶界和残余晶间相引起的声子散射效应阻碍热传导。特别是,SiC 晶格中溶解的氧被认为是降低热导率的主要因素之一。氧气的溶解会导致硅空位的形成(如式 1 所示),从而降低声子传播效率[38]。通常,SiC 中的晶格氧来源于起始粉末中的固有晶格氧和表面的 SiO2 钝化层[39]。因此,制备高热导率的 SiC 关键在于在保证陶瓷致密的条件下,通过原料和工艺来减少晶格氧的形成。 SiC 是一种具有强大共价键的化合物,SiC粉末在高温高压的条件下才能形成致密的块体。Nadeau 等人[39]在极端的烧结条件下(2500 °C 和 5000 MPa)成功制备了纯 SiC,这凸显了其制备的困难。为了克服高温烧结的挑战,研究者常在陶瓷粉末中掺入低熔点添加剂,采取固态或液相烧结技术制备 SiC。在固态烧结过程中,适量的硼和碳已被证实能够促进 SiC 的致密化[40]。对于液相烧结,因其可以促进晶粒生长以及具有良好的缺陷修复能力,而被认为更适合制备高密度的 SiC [41]。此外,SiC 陶瓷还可以使用硅、碳和 SiC 粉末等原料反应烧结形成。反应烧结涉及多孔碳预制件的制作、液态硅的渗透以及高温下与碳的化学反应。该过程通过毛细管作用使液态硅渗透多孔预制件(由碳和 α-SiC 制成),随后液态硅与碳反应形成 β-SiC,最终与 α-SiC 结合形成致密的陶瓷。尽管反应烧结产生的陶瓷可能含有较多的残余硅和碳,导致热导率和强度较低,但其制备周期短、温度低、成型精度高,使其在工业中存在一定的应用[42]。 SiC 的热导率和力学性能与其化学组成和烧结工艺密切相关。根据文献报道,添加 BeO 作为添加剂的 SiC 可获得目前最高的实测热导率(270 W/m·K)[43]。表 5 不同成分的 SiC 的性能进一步详细展示了不同组分及烧结方法对 SiC 性能的具体影响。其中,采用 SPS 工艺制备的 SiC-0.85Y2O3-0.26Sc2O3(wt.%)陶瓷的热导率达到 262 W/m·K),高于采用 HPS制备的 SiC-0.85Y2O3-0.52Sc2O3(wt.%)陶瓷(234 W/m·K)。尽管这两种SiC 的成分相似,但由于烧结方式的差异,其热导率相差显著,表明SiC 的热导率对工艺或微小的成分变化非常敏感。 在所调研的文献中,通过固态烧结法制备的 SiC 的最高热导率仅为 192 W/m·K,远低于液相烧结制备的 SiC 的最大热导率。这是因为在液相烧结过程中,添加剂能够净化晶格,而固态烧结则无此效果。考虑到反应烧结法制备的 SiC 热导率更低,所以液相烧结更适合制备高热导率 SiC,但需搭配合适的添加剂。例如,掺入稀土氧化物可净化晶格提高热导率;而 Al2O3 添加剂则可能形成 Si 空位[38],从而降低热导率。还有文献[44,45]提供的证据表明,在保证致密度的前提下,添加剂的含量越低,SiC 热导率越高。 除了化学组分和烧结方法外,影响 SiC 热导率的其他关键因素还包括原料的晶体结构[39]和粉末粒径[46]、晶粒尺寸[47]、烧结温度[39]、烧结时长[48]、和烧结气氛[38]等,这些因素在表 6 影响 SiC 热导率的因素中有更详细的概述。 图 3 按照热导率递减的顺序(a 至 f)系统地展示了不同文献报道的 SiC 的扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)图像。对比图 3a[17]与图 3b[49]可知,图3a 所示样品中的小尺寸晶粒数量相对较少,因此具有更高的热导率。然而,图 3c 的晶粒尺寸看似比图 3d 的小,且第二相更粗大,其热导率却高于图 3d[48],这需要进一步分析。根据图 4 所示的高分辨率透射电子显微镜(High Resolution Transmission Electron Microscope,HRTEM)图像,SiC 内部存在清洁晶界(图 4a)和附着有非晶膜的晶界(图 4b)两种类型[17]。当无明显连续的第二相阻断晶粒时,陶瓷的热导率主要取决于晶格缺陷的数量和晶界的纯净度。所以尽管图 3c 的晶粒尺寸较图 3d 更小,但其晶界却更干净,因此其热导率更高。这说明烧结气氛也会对 SiC 的组织造成影响。图 3e[36]展示了典型固态烧结 SiC组织,具有较多缺陷和杂质,以小晶粒为主,导致热导率不高,但其优势是制备时间短。图3f[47]展示了含 Al 的 SiC 组织,与其它添加剂明显不同,晶粒尺寸小、缺陷多、晶界宽,且晶粒内存在许多杂质,导致热导率非常低。 通过深入分析 SiC 的化学组成、烧结工艺以及微观组织特性,可获得实现高热导率 SiC 的制备要求:首先应使用合适的添加剂和烧结工艺确保 SiC 达到高致密度,同时在维持致密度的前提下,尽量降低添加剂用量;其次,为减少晶格内的氧缺陷,选用既不溶于 SiC 晶格又能有效净化晶格的添加剂;再者,在保证 SiC 的强度满足要求的情况下通过优化烧结工艺尽可能增大晶粒尺寸;最后,结合添加剂与烧结气氛间的潜在反应性,精心选择适宜的烧结气氛条件。 2.2.3 AlN 基板 AlN 凭借其出色的物理化学性能,包括高达 319 W/m·K 的本征热导率、低介电常数、高电阻率、6.2 eV 的室温宽禁带宽度、稳定的化学性质以及与硅类似的 CTE,被广泛应用在多种场景中[54]。 然而,现有研究中所记录到的 AlN 最高热导率仅为 248 W/m·K,相当于其本征值的77.4 %,表明 AlN 的热导率仍有提升空间[55]。决定 AlN 热导率的关键因素是晶格缺陷结构,其中,晶格氧缺陷尤为突出。Slack 等人[54]指出,氧以 Al2O3 形态替代氮原子进入 AlN 晶格时,每个三元氧组合会生成一个铝空位(V''),这一现象可以通过特定公式量化描述: 式中 x 为 AlN 中氧杂质数量密度和氮数量密度的比值;V''为铝空位。显而易见,AlN 晶格的氧含量对其热导率的影响至关重要[56]。 AlN 陶瓷的制备通常需要掺入低熔点氧化物作为添加剂,以降低烧结温度并优化烧结质量。不同添加剂在改善 AlN 性能方面表现出不同的效果和最优添加比例。其中,亲氧添加剂因其净化晶格的能力而被广泛应用,可有效提升 AlN 的热导率[57,58]。 表 7 列举了几种常见的 AlN 烧结添加剂及其可能发生的反应。其中,Y2O3、YF3、YbF3、Yb2O3、CaF2 和 Li2CO3 等添加剂能与 AlN 表面的 Al2O3 发生反应,实现 AlN 晶格的净化,提高热导率,以Y2O3 的效果最佳[59]。添加剂用量不足可能导致陶瓷致密度不足或晶格净化不彻底,而过量添加则易形成粗大的第二相,两者都会显著降低 AlN 的热导率[60]。为加快制备高热导率 AlN 的进程,可先测定 AlN 粉末的表面含氧量,再根据反应方程式计算所需添加剂的最佳剂量[59]。 除亲氧性外,部分添加剂还具备其它特性。例如,Li2CO3 高温分解生成的 Li2O 不仅能净化晶格,还会在高于 1600 °C 时升华,进一步净化晶界,增强 AlN 的热导率[61]。CaC2 转化成CaO-Al2O3 复合物及 CO 或 CO2 气体,有效减少陶瓷中的晶格氧、孔隙和缺陷,增强晶粒的均匀性的同时提高陶瓷的热导率[62]。相比之下,添加 Al2O3 可能溶入 AlN 晶粒内部产生缺陷,从而降低热导率[63]。 烧结方法的选择也影响添加剂的效果。Ishizaki 等人[64]研究表明,使用 1 mol% Y2O3 作为添加剂,通过 PLS 制备 AlN 时,随烧结温度升高,晶格中氧含量逐步减少,热导率也随之提高;而在 HIPS条件下,AlN 的氧含量变化不大,热导率较低。这主要因为在 PLS 过程中,Y2O3 易与Al2O3 反应并排出含氧气体,而在 HIPS 高压状态下,这种反应受限。 表 8 展示了不同成分和工艺的 AlN的性能对比。本文调研的 AlN 最高热导率为 248 W/m·K,仅使用 Y2O3 作为添加剂,采用无压烧结工艺[55]。许多采用单一稀土氧化物添加剂制备的 AlN 显示出较高的热导率,而多组分添加剂制备的 AlN 不仅热导率略逊一筹,其力学性能也并未体现出显著优势。就烧结工艺而言,PLS 和 HPS 制备的 AlN 通常具有更高的热导率,因为较高的烧结温度、更长的烧结时间和更缓慢的冷却速率有利于提高 AlN 的热导率[59],而这两种工艺非常容易实现这些条件。然而,鉴于 SPS 工艺烧结时间较短,故并不适合用于制造高导热的 AlN。 表中数据还表明,尽管高热导率的 AlN 在热传导性能上表现出色,但其力学性能常常不尽人意,这限制了其应用范围。特别是晶粒尺寸对 AlN 的整体性能有着重要的影响—较大的晶粒尺寸虽然有助于提升热导率,却可能降低其强度。因此,研究者们尝试采用多步热处理工艺以优化 AlN 的综合性能[68],即先通过较短的高温阶段促使 AlN 迅速致密化,然后在经长时间低温退火继续提高致密度,同时防止晶粒过度长大,从而同时提升 AlN 的热导率和强度。尽管如此,表中使用两步烧结制备的AlN-3Yb2O3-2YbF3(wt.%)陶瓷仍未满足《GB/T 39975-2021-氮化铝陶瓷散热基片》的性能指标。 图 5 显示了不同 AlN 样品的 SEM 组织。通过对比图 5a[68]和图 5b[68]可以发现,两步烧结法制备的 AlN 晶粒尺寸更小,这有助于提高其强度。此外,传统无压烧结法制备的 AlN 中第二相连续分布,阻断了整个 AlN 晶粒,不利于热传递。而两步烧结法制备的 AlN 中第二相弥散分布于晶粒交界处,对热传递的阻碍较小,因此具有更高的热导率。图5c[74]为 SPS 工艺制备的 AlN 的 SEM 组织,由于烧结时间较短,样品中仍存在较多空隙和粗大的第二相,导致热导率下降。同时,短时间的烧结导致添加剂难以有效净化晶格,晶粒也未充分长大,这些因素均不利于热导率的提高。相比之下,图5d[71]展示的 AlN 样品经过复杂的热处理工艺制备,尽管存在粗大的第二相,但其表现出的热导率可超过 200 W/m·K。这一显著结果可以归因于采用的预烧工艺,在此过程中,通过将生胚置于石墨坩埚中预烧,有效降低了粉末表面的氧含量,从而使得最终制备的陶瓷材料具有更低的晶格氧含量。因此,降低晶格含氧量对于提升 AlN 的热导率最为关键。此外,晶粒尺寸和第二相的尺寸及分布对热导率也存在一定的影响。 2.2.4 Si3N4 基板 Si3N4 存在 α-Si3N4、β-Si3N4 和 γ-Si3N4 三种晶体结构,其中 α-Si3N4 和 β-Si3N4 为六方结构,γ-Si3N4为立方晶尖石结构。商用 Si3N4 粉末主要为 α 相和 β 相。β-Si3N4 是热力学稳定相,因为 α→β 转变不可逆。纯的 α-Si3N4 在 2200 oC 以下不发生相变,但掺入添加剂后可在 2150 oC 以下触发 α→β 转变,机理是高温下添加剂与 Si3N4 表面相互作用形成液相,促进 β 相的形核与长大[76]。 Hirosaki 等人[77]通过分子动力学模拟发现,α-Si3N4 单晶沿 a 轴和 c 轴的理论热导率分别为 105W/m·K 和 225 W/m·K,而 β-Si3N4 相应轴向的热导率则为 170 W/m·K 和 450 W/m·K。说明 β 晶型更利于提高 Si3N4 陶瓷热导率。本调研的 Si3N4 的最高热导率为 177 W/m·K,仅为理论最大值的 39.3 %,提升潜力巨大。 Si3N4 的热导率受晶格缺陷引起的声子散射效应限制,特别是氧原子替代氮原子会形成硅空位,导致 Si3N4 的热导率下降,通常通过掺入添加剂以及优化烧结工艺来控制晶格含氧量[78]。MgO 和稀土氧化物等低熔点添加剂常用于 Si3N4 共烧。其中亲氧型添加剂能够净化晶格,有助于提升 Si3N4 的热导率[78]。但含Al 的添加剂易形成固溶体从而降低热导率[79],Fe 杂质也有类似的负面影响[80]。制备高热导率 Si3N4 的烧结工艺应采用高温高压、长时间高温退火及缓慢冷却等策略,最大限度减少晶格氧含量并促进晶粒生长[16,81]。 由于 Si3N4 不同晶粒取向热导率差异大,还可通过掺入微量 β-Si3N4 晶种,结合磁场辅助滑动铸造[82]、热压技术[83]或流延技术[16]等技术,可制备高度各向异性的 Si3N4。制备的陶瓷在某一方向(高度c 轴取向)的热导率非常高,但垂直于该方向的热导率相对较低。 此外,还能够以硅粉为原料,通过反应烧结法(Reaction-Bonded Sintering,RBS)制备高热导率Si3N4。该工艺流程涉及硅粉与添加剂的混合及成型、硅粉的氮化以及高温烧结。反应烧结 Si3N4 因原材料成本低、氮化过程中坯体尺寸稳定且烧结后无需二次加工而被广泛应用[84]。理论上,采用高纯硅粉制备的 Si3N4 的晶格含氧量更低,因硅粉的含氧量低于商业高纯 Si3N4 粉末的含氧量[81]。而且,由于氧气在β-Si3N4 中的溶解度远小于α-Si3N4 中的溶解度,所以可以通过调控氮化温度[85]、延长氮化时间[86]和优化氮化气氛及升温速率[81]增加氮化产物中 β-Si3N4 的比例,从而降低晶格氧含量,提高整体热导率。 表 9 展示了不同 Si3N4 样品的性能数据。热导率最高的 Si3N4 由反应烧结法制备,成分为Si3N4-5.62Yb2O3-1.44MgO(wt.%),热导率为 177 W/m·K。其次为具有高度各项异性的(Si3N4-2.89MgSiN2-3.25Y2O3)(wt.%)+5 mol% β-Si3N4 陶瓷。值得注意的是,即使具有高度 c轴取向的 Si3N4,其热导率也只达到理论极限的 39.11 %,凸显了制备高热导率 Si3N4 的难度和潜力。除添加剂和烧结工艺外,原料的含氧量和晶体类型也是影响 Si3N4 热导率的重要因素。例如,Lee 等人[87]的研究表明,市售的Si3N4 粉末在氮气下退火一定时长后,含氧量从 1.27 wt.%降至 0.96 wt.%;使用退火后的粉末制备的Si3N4 与使用未退火粉末制备的 Si3N4 相比,其热导率提升了 18.32 %。Hayashi 等人[88]的报告则证明,采用 β-Si3N4 作为原料相较于 α-Si3N4 能获得更高热导率的 Si3N4。 目前制备的 Si3N4 的综合性能较差。表中高强度的 Si3N4 的热导率徘徊在 100 W/m·K 左右,而热导率最高纪录对应的抗弯强度也仅为 460 MPa,未能满足团体标准《T/SCS 000024—2023-高导热氮化硅陶瓷基片》的要求。未来研究亟待解决的问题是在大幅提升热导率的同时保持较高的强度和韧性,以避免在市场竞争中失去优势地位。 通过分析图 6 所示不同工艺和成分的Si3N4 的 SEM 图像,可深入了解其微观结构特征与热导率的关系。图 6a[81]展示的优化 RBS 工艺制备的 Si3N4 呈现出显著的晶粒尺寸不均一性,但部分晶粒硕大且孔隙稀少,加上较薄的晶界和非常低的晶格氧,共同支撑其优越的热导性能。相比之下,具有 c轴择优取向的 Si3N4(参见图6b[82])存在非均匀的晶粒和明显的晶界,导致其热导率与理论值存在显著差距。为解决此问题,可通过优化添加剂和工艺以增大晶粒尺寸、减少第二相尺寸以及提高干净晶界的占比,有望提升其热导率。观察图 6c[95]所示的传统烧结法制备的高热导率 Si3N4 样品,尽管存在较多大尺寸晶粒和相对干净的晶界,但仍可见部分被第二相包围的小晶粒,这可能是导致其热导率低的原因。最后,图 6d[86]展示的低热导率 Si3N4 的组织中,存在大量小晶粒,且晶粒间存在明显的第二相或非常厚的晶界,因此热导率非常低。结合 SEM 分析可知,制备高热导率 Si3N4 的关键在于,在确保低晶格含氧量的同时,通过调控添加剂和优化工艺流程,使 Si3N4 的组织具有高度 c轴取向、大尺寸晶粒、干净的晶界和弥散分布的第二相。 2.3 高导热陶瓷的设计 通过整合上述观点,可以提炼出制备高热导率非氧化物陶瓷的核心设计要求(机理如图 7 所示):首先要选择合适的添加剂和烧结工艺获取致密化的陶瓷;其次添加剂还应具有净化晶格的作用,能减少陶瓷的晶格缺陷;再次,陶瓷组织内无粗大连续的第二相,且陶瓷的晶界无非晶层;还有,在保证一定的强度下,陶瓷的晶粒尺寸越大越好;最后,对于热导率在晶型和晶向上存在高度各向异性的陶瓷(如 Si3N4),制备的陶瓷组织应主要为最优晶型以及最优取向。 尽管现有大量的研究报道不同的成分、工艺参数与陶瓷性能之间的关系,但陶瓷性能与诸多因素(如粉末杂质含量、粒径、成分、烧结方式、烧结温度和烧结时间等)存在复杂联系,所以难以建立准确的预测模型。然而,随着人工智能的发展,利用大规模可靠数据训练人工智能模型对陶瓷性能进行预测已成为可能。例如,日本学者 Furushima 等人[96]利用支持向量回归机器学习算法预测 RBS制备的 Si3N4 的热导率,并取得了满意结果。通过人工智能辅助设计,不仅可以大幅节省时间和成本,而且是未来高热导率陶瓷材料设计的重要发展趋势。 3 陶瓷基板的金属化工艺 在成功制备高热导平面陶瓷基板之后,需要通过金属化处理在基板表面形成金属线路,从而实现器件的焊接和电气连接。当前工业广泛应用的成熟金属化工艺主要包括 DPC、DBC 以及 AMB,此外,学术文献中还报道了一些新兴的金属化技术,如 LAM 和 TPC。在众多工艺中,AMB和 DBC陶瓷基板以其卓越的高电压、高功率承载能力脱颖而出,广泛适用于大型电机驱动器、高压变换器、SiC 器件等大功率应用场景;而其他金属化工艺则更适合于低功率需求领域,如 GaN 功率半导体、移动电源设备和汽车控制器等。 目前市场应用及学术研究中,平面陶瓷基板金属化层多采用铜材料,对其性能评估的核心指标主要集中在金属层与陶瓷基板的结合力和金属层的电阻率。此外,针对不同的应用场景,铜层的厚度、线宽、线间距以及可靠性都有特定要求。尤为重要的是,由于铜与陶瓷基板之间显著的 CTE 差异,在器件服役过程中,温度变化和 CTE 不匹配可能导致陶瓷基板产生应力裂纹,从而影响器件的整体稳定性和可靠性[97]。因此,金属化陶瓷基板的热应力翘曲性能和温度循环稳定性也是关键的技术指标。下面各章节将对各类金属化工艺进行更深入的解析。 3.1 DPC 工艺 DPC 工艺流程如图 8 所示[8]。首先,基板经过激光冲孔并彻底清洁,然后在清洁干燥的陶瓷基板上沉积种子层,接着覆盖干膜并进行显影曝光,继而进行电镀操作,以生成所需的金属线路。此后,移除多余干膜和种子层,并在铜表面覆盖一层非活性金属来保护铜层,以便于后续的钎焊过程。 DPC 具有较高的线路精度、良好的金属层结合强度和线路电阻较低等特点。由于 DPC 工艺中铜层是通过光刻与电镀相结合的方式形成,因此其金属线宽可低于 50 μm[98]。在电阻和结合强度方面,Hao 等人[99]报道的溅射铜层的抗拉强度和方阻分别为 3.0 MPa 和 0.101 Ω.cm/□,沉积铜层的方阻为0.334 Ω.cm/□。由于 Ti 与陶瓷基板的结合强度更高[100],因此,在陶瓷基板上预先溅射一层薄的 Ti 层后再溅射铜层,可显著提高结合强度,此时抗拉强度可提升至 11.8 MPa[101]。 尽管 DPC 陶瓷基板具有高导热性、高线路精度以及可通过通孔连接减少封装体积等优点,但受限于电镀工艺,其铜层厚度通常不超过 150 μm。目前 DPC 技术主要应用于大功率 LED 的封装。在高亮度 LED 和深紫外 LED 在高发热的应用场景中,不仅需要背面配备高导热基板散热,正面封装材料也需考虑热稳定性和可靠性。传统的树脂封装材料在紫外线和高温作用下易老化失效,因此目前的研究还倾向于采用高岭土、金属镍、金属铜等无机或金属材料在 DPC 基板上形成坝体结构,再搭配透明石英进行封装,以提高器件的可靠性[102]。 尽管 DPC 工艺已被广泛应用,但仍面临效率低、通孔填充不良和镀液通用性差等问题[103]。其中,通孔填充不良会影响器件的性能、稳定性和可靠性。其形成原因是电镀过程中,铜更易在通孔表面填充,导致在内部未充实的情况下使通孔闭合,最终在通孔内部形成孔洞。电镀通孔填充质量受电镀电流和添加剂配方的影响,通过优化电镀液配方及辅助工艺参数可改善通孔填充质量[103]。Wang 等人[104]通过改进电镀液配方和搅拌速率实现了高纵横比及无缺陷的镀铜通孔。其机制是通过抑制剂选择性抑制通孔表面沉积,同时使用加速剂选择性加速通孔内部沉积,当工艺参数适宜时,可形成无缺陷的镀铜通孔。 此外,DPC 陶瓷基板在电镀过程中可能存需要过长的的电镀时间、镀层厚度不均匀以及镀层内部存在宏观残余应力等问题[105]。其中,过高的残余应力可能引发镀层开裂或弯曲,且残余应力在铜层内部积累可能影响陶瓷基板的热稳定性[106]。为缓解这些问题,可以通过优化镀液配方和工艺减小基板的残余应力,如Thomas 等人[107]通过改进电镀液配方减少电镀铜对基板通孔附近区域的残余应力。 根据 QYresearch 的数据[6],全球 DPC 陶瓷基板市场规模在 2022 年已达到 2.40 亿美元,预计至2029 年将以 4.43 %的复合年增长率增长至 3.27 亿美元。尽管 DPC 陶瓷基板具有较好的市场前景,但由于环境污染问题许多城市限制电镀生产,间接影响DPC 工业的发展。此外,DPC 工艺中使用的精密溅射镀膜设备的高昂的价格也提高了整体成本。因此,迫切需要研发新的技术,提高 DPC 陶瓷基板的线厚并降低成本,从而增强其在市场竞争中的优势。 3.2 DBC 工艺 DBC 技术最早由 Burgess 等人于 1973 年开创性地提出[108],其基本原理在于利用铜箔表面氧化层在高温下形成 Cu-O 共晶熔体,该熔体具备卓越的润湿性能,在 1065 °C 共晶温度下能够有效联结陶瓷基板与未反应的铜箔,在冷却凝 固 后 确 保 两 者 间 的 强 韧 结合, 这 一 工 艺 流 程 的 可 参 见 图9[8]。 在 1065 °C 附近,Cu-O 形成的共 晶 相 , 鉴 于 纯 铜 熔 点 为1083 °C,故共晶键合需在 1065 °C至 1083 °C 的温度范围内进行,实际操 作 多 集 中 在 1070 °C 至1075 °C[108]。降温过程中,Cu-O 共晶中的过饱和氧会以 Cu2O 沉淀形式析出;在 Al2O3 或 AlN 陶瓷中,还可能出现 CuAlO2 和 CuAl2O4 等附加反应产物[108]。共晶液的形成及其氧含量对于键合效果至关重要,鉴于氧气在铜熔体中的扩散率极低(10-5 cm2/s),难以在键合过程中引入足量氧,故通常通过预氧化铜箔在铜箔表面形成Cu2O 以促进共晶液生成。铜中氧含量还对键合界面的强度有显著影响,因此对其精准调控是确保键合性能的核心环节[109]。 DBC 工艺需要搭配特定的基板使用。纯铜熔融体对 Al2O3、AlN 和 Si3N4 的润湿性较差,润湿角超过 130 °[108]。通过增加键合过程的氧分压和铜熔体的氧含量,可大幅度减少其在 Al2O3 表面的润湿角[110]。虽然 AlN 也可通过增加键合过程的氧分压、在真空环境下键合或延长键合时间以改善润湿性,但效果非常有限[111,112]。因此一般是对 AlN 进行预氧化处理,以在表面生成一层 Al2O3,再通过上述方法进行键合。但这些方法都难以改善铜熔体与 Si3N4 的润湿性,所以很少对 Si3N4 使用 DBC 工艺。 DBC 结构中铜层的厚度范围在 120μm 至 700 μm,湿法刻蚀技术使得铜层线路宽度达到 200μm[98],且良好的 DBC 基板中铜层与基板之间的结合强度高于 65 N/cm[113]。但如此大的线宽限制了DBC 陶瓷基板在精密电子器件的应用[114]。 此外,DBC 陶瓷基板还面临键合界面存在孔隙及温度循环可靠性差的双重挑战。孔隙现象如图10a[108]所示,其确切原因尚未明确,推测可能与高温下 Cu2O 还原为 Cu 时释放氧气以及陶瓷基板的气体释放有关[111,108]。关于 DBC 陶瓷基板的热循环可靠性差的问题,是由于陶瓷与铜层的巨大 CTE差异,在温度循环测试中,这种差异导致基板内部应力累积,最终引发疲劳断裂[115]。Pietranico 等人指出 DBC 陶瓷基板在温度循环中失效的主要机理[116]:一是在 DBC 基板上,疲劳裂纹起始于铜层内的敏感几何位置或接近铜/陶瓷界面,并在达到特定阈值后扩展并分支穿入陶瓷层;二是由于陶瓷层本征缺陷引发的脆性断裂,裂纹沿最大主应力方向垂直穿过界面。图 10 还展示了几例典型的 DBC陶瓷基板失效案例,超声波扫描结果显示铜层边缘存在白色特征区域,指示此处已出现裂纹(参阅图10b[117]),而图10c[118]的破裂样品横截面清晰揭示裂纹存在于陶瓷基板内部而非铜层与陶瓷界面。针对此难题,通过优化铜层设计[119]、铝箔代替铜箔[120],以及增加基板强度和韧性等手段[113],能够显著提高 DBC 陶瓷基板的温度循环可靠性。 DBC 技术的市场潜力得益于其相对简单的设备和工艺。据 QYResearch 报告[6],2022年全球 DBC陶瓷基板市场的销售额为 4.4 亿美元,预计到 2029 年将增长至 8.24 亿美元,年复合增长率为 7.75 %。同样。尽管 DBC 陶瓷基板的销售额增长显著,但其市场份额较低,主要原因是基板适配性以及其温度循环可靠性较差导致无法在大功率器件中应用。此外,DBC 陶瓷基板在湿法刻蚀工艺中面临的线路精度限制,也影响了其在小体积封装市场的应用。因此,提升 DBC 陶瓷基板在温度循环可靠性、陶瓷基板的适配性和线路精度,是扩大其市场份额的关键。 3.3 AMB 工艺 在新能源汽车行业中,SiC 模块备受重视,但当 SiC 功率器件的结温升高至 250 °C 时,由于 DBC陶瓷基板在高温条件下的温度循环可靠性很差,导致其应用受限[121]。因此,为解决这一问题,研究者开发了 AMB 陶瓷基板。AMB 工艺流程(参见图 11[8])如下:首先,在洁净的陶瓷基板上涂覆一层薄薄的焊料,随后将铜箔贴合在焊料上并放置在 800 oC 至 950 oC 的真空环境下使焊料熔化,待焊料冷却后即可形成稳固的连接。接下来,通过湿法刻蚀技术制作金属图案以满足大功率器件的电气连接需求。 鉴于常规金属与陶瓷基板间的润湿性较差,通常使用活性金属焊料改善润湿性以提高接头强度。活性金属焊料是指至少含有一种活性金属元素的焊料,当前主要活性元素为 Ti 及镧系元素[122,123]。AMB工艺中常用的活性焊料主要包括 Sn-Ag-Ti[124]和Ag-Cu-Ti[125]体系,其中 Ti 作为活性金属增强焊料与陶瓷间的润湿性,Sn 和 Ag 则起到降低熔点以及提高接头的导热性能的作用。 然而,AMB 工艺必须在高真空或保护气氛下实施,这限制了其工艺的适用性。为克服此局限性,研究者开发出可在大气环境中进行的反应空气钎焊(Reactive Air Brazing,RAB)技术。RAB 技术采用的钎焊填充金属主要由贵金属(如 Ag、Ag-Pd 合金[126])和金属氧化物(如 CuO[127]、V2O5[128]、Nb2O5[129]、SiO2[130]和 Al2TiO5[131])构成,从而赋予接头良好的抗氧化性能。在 RAB 过程中,金属氧化物能够附着于陶瓷基底表面并与之反应,通过熔融填充金属与界面的协同作用增强陶瓷基底的润湿性。同时,贵金属的优良延展性有助于缓解接头内部热应力,而金属氧化物的加入则有助于减少接头与陶瓷基体间由 CTE 差异引发的残余应力[132]。 高温钎焊工艺中,由于铜箔、焊料与陶瓷基板间 CTE 的不匹配,导致金属化基板内部积累残余应力,且该应力的大小与铜层、焊料及其反应层的厚度直接相关,通常随着厚度增加,残余应力相应增大[125,133]。为缓解这一问题,研究者采取了若干策略,如在焊料中添加改性粒子以调和CTE 的匹配性,或采用激光在陶瓷表面预置沟槽后再进行钎焊,这些方法都能在降低残余应力的同时增强接头强度[134,135]。同时,CTE 不匹配还会显著削弱 AMB 陶瓷基板的温度循环可靠性[116,136],可通过优化焊料配方进行改善[125]。此外,陶瓷材料的韧性在温度循环可靠性中起着关键作用。Miyazaki 等人[97]通过对不同性能的陶瓷制备的 AMB 陶瓷基板进行温度循环(-40 °C 至 250 °C)可靠性实验,结果如表 10 所示。其中抗弯强度为 600 MPa、韧性为 8.0 MPa·m1/2 的Si3N4 基板金属化后循环 1000 次依然保持完好,而抗弯强度虽然为 980 MPa 但韧性降为 5.5 MPa·m1/2 的 Si3N4 基板金属化后经50 次温度循环就发生失效,以及韧性更低的 AlN 基板金属化后仅经 7 次循环就失效。由此得出结论,在评估温度循环可靠性时,陶瓷材料的韧性相较于抗弯强度更为敏感,因此,在满足强度的同时选用高韧性的陶瓷基板更契合 AMB 工艺的需求。 伴随新能源汽车技术向 800 V 电压平台的转型升级,主驱逆变器功率模块正逐步由硅基模块转向 SiC 模块,与此相适应,其支撑基板也由 DBC 陶瓷基板转为 AMB-Si3N4 基板,由此推动了 AMB-Si3N4 基板市场需求的持续增长。参考 2022 年 QYresearch 的研究报告[6],当年全球 AMB 陶瓷基板市场的销售额已达到 4.33 亿美元,预计至 2029 年市场规模将跃升至 28.72 亿美元,对应年复合增长率为 26.0 %,凸显出 AMB 陶瓷基板在市场上的强劲增长趋势。 AMB 工艺具有设备、工艺简单、高可靠性、不受陶瓷基板限制等优点,是在大功率器件的应用中最具发展潜力的金属化工艺。然而,鉴于大功率电子器件行业的快速发展,对 AMB 的力学性能和长期运行可靠性提出了更高的标准,因此需要对其进行持续优化和提升。同时,AMB 陶瓷基板与DBC 陶瓷基板一样面临线路精度不足的技术瓶颈,若能开发新技术使其线路精度与 DPC 工艺相媲美,AMB 陶瓷基板将有望在未来替代其他同类基板,展现出巨大的应用潜力。 3.4 LAM 工艺 LAM 工艺通过激光束对含铝陶瓷基板进行选择性照射,被照射的陶瓷材料还原成活化的金属原子,随后将其浸入含 Cu2+的化学镀液中,活化原子促使 Cu2+还原并沉积在被照射的区域,形成金属线路图案[137]。 化学镀是一种无需外加电流的自催化氧化还原过程,通过溶液中的化学还原剂将金属离子还原为固体金属[138],而这一还原过程的能量驱动来自于溶液中的化学还原剂[139]。通常镀液中的金属难以自发还原,通常需要催化剂作为中间媒介,以降低金属成核的活化能[140]。一旦催化剂颗粒成功沉积在基底表面,即可触发大范围的金属沉积。 LAM 工艺常用含铝基板进行加工,因为激光照射后可以形成活化的 Al 原子。但 Al 原子的催化性能并不理想,需要其它的催化剂来提高沉积效率。Bindra 等人[141]的研究表明,Pd和 Pt 在碱性介质中具有优异的催化性能。尽管 Pd 基催化剂在选择性活化方面存在局限性[142],但 Pd 因其出色的催化活性而被 LAM 工艺优先选用[143]。因此,通常先在陶瓷基板上涂覆一层 PdCl2,激光照射后,PdCl2会分解成 PdO 和单质 Pd,二者均可作为化学镀铜的有效催化剂[144]。 当前,LAM 工艺在学术研究中主要关注提高线路精度和增强可靠性两个核心问题。激光照射产生的热效应会形成热影响区,热影响区也会形成少量的活化金属,导致线路增宽。为此,相较于纳秒激光,采用皮秒激光可以更精确地聚焦能量,形成狭窄而深入的活化区域,从而同步提高线路精度和金属层的结合强度[145]。此外,Lv 等人[144]在激光照射后利用王水(硫酸与硝酸体积比为 3:1 的混合溶液)选择性溶解热影响区内的活化原子后,再进行化学镀,有效减小了线路宽度。关于可靠性方面,DeSilva[137]等人发现,沉积铜层在 500 oC 退火处理后,其附着力可从初始的约 15 MPa 显著提升至 48 MPa。 LAM 工艺设计对激光参数、陶瓷基板特性和电镀工艺参数具有高度敏感性,尽管该技术结合了电镀铜的成本优势和 LAM 工艺的高线路精度的特点,但高昂的激光设备成本和化学镀带来的环境污染问题仍然是限制其进一步普及的重要原因。尽管面临这些挑战,LAM 技术仍在不断发展中,其在未来的应用前景仍值得期待。 3.5 TPC 工艺 TPC 技术利用丝网印刷工艺,在洁净陶瓷基板上涂覆粘性浆料,经历干燥后叠加印刷铜浆,并经再次干燥和烧结处理,可形成厚度介于 5 至 50 μm 的金属膜层[8,98]。对于需要更厚铜层的应用场合,须重复进行多次印刷、干燥及烧结。TPC 工艺通过消除湿法刻蚀过程,能够直接在陶瓷基板上印刷金属线路,有效降低了金属浆料的消耗。此外,通过对丝网印刷参数的精细化调控,TPC 工艺能够实现不同厚度的金属图案[146]。 TPC 工艺中,金属层与陶瓷基板的结合强度与烧结温度紧密相关。当烧结温度超过 925 oC 时,金属层与基板间的附着力低于 10 N/mm2,而在适宜的烧结条件下,附着力可提升至 30 N/mm2[147]。值得一提的是,与 DBC 陶瓷基板相比,TPC 陶瓷基板在温度循环可靠性方面展现出显著优势,其循环次数远超 DBC 陶瓷基板,且不依赖于特定的基板类型[114]。然而,印刷的金属层内部存在的孔隙和杂质问题导致金属层电阻增大,这是 TPC 技术有待解决的关键问题之一。 尽管面临电阻增加与烧结工艺优化的挑战,鉴于 TPC 陶瓷基板在基板可靠性方面的突出优势,其在众多领域中仍展现出广泛的潜在应用前景。为进一步推进 TPC 技术的应用,有必要继续探索和解决其电阻过高和烧结工艺繁琐等相关问题。 4 结论与展望 本文综合评析了电子封装中的平面陶瓷基板及其金属化技术的研究进展与特性。结果显示,Al2O3基板因热导率和强度局限,适用于低功耗场合;SiC 基板尽管热导率优越,但强度低、介电常数高,尚存改进空间;AlN 基板热导率高,但力学性能有待提升;Si3N4 基板热导率潜力大,尽管尝试多种办法制备,但实际热导率偏低。后三者的热导率提升的关键在于控制晶格氧缺陷、第二相含量、晶粒尺寸等要素,可采取亲氧添加剂、高温烧结、延长烧结或热处理时间以及采用多步烧结等方式优化。 关于金属化工艺,DPC 工艺实现了高精度线路,但受限于线路薄、高昂的设备成本及环境污染;DBC 工艺简易,但面临温度循环可靠性性差和孔隙问题;AMB 工艺展现出优秀的温度循环可靠性,应用前景广泛,当前核心在于开发新焊料、强化接头强度与可靠性;LAM 工艺也具有高线路精度的优势,但设备成本较高且也存在环境污染的风险;TPC 工艺虽简单可靠,但受限于高电阻和厚铜层制备过程繁琐。 未来发展趋势上,建议首先运用人工智能优化高热导陶瓷的成分设计与工艺流程,提升效率;其次,针对现有高热导陶瓷高温烧结难题,开发适于工业化规模生产的低温快速烧结技术。上述的基板中,Si3N4 基板具备最大的发展潜力,需攻关提升其实测热导率至 60 %理论最大值以上,同时保持高强度和韧性。此外,DPC 和 LAM 工艺需研发技术以增加线路厚度,探讨化学替代法降低成本;DBC 和 AMB 工艺需研发更高精度的刻蚀技术;TPC 工艺则需革新材料和工艺以降低电阻及简化工艺流程。 总之,期望未来能研制出具备高导热、高强度、高韧性、低 CTE 以及低介电常数的陶瓷基板,结合厚线路的 DPC 工艺或高线路精度的 AMB 工艺,有效满足大功率器件的各种封装需求。

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    1. 超导电机Superconducting Motor超导电机是一种利用超导材料作为绕组或转子元件的电机,相比传统电机,它具有更高的功率密度、更高的效率以及更低的损耗。超导材料在低温下可以表现出零电阻和完全抗磁性(迈斯纳效应),使电机可以极大地减少铜损和铁损,提高能量转换效率。超导电机可以同时实现轻量化小尺寸和高功率。The mechanism of a superconducting motor东芝超过2700马力的超导电机来源:企业官网 2. 感应电机Induction motor感应电动机又称异步电动机,是一种交流电动机。根据电源相数不同,可分为单相和三相。感应电动机的主要结构由定子和转子两部分组成。此外,还有端盖、轴承、电机架等部件。鼠笼型异步电动机示意图特斯拉第一款量产电动汽车是Roadster,采用传统的三相交流感应电动机。该电机类型为三相四极感应电机,额定电压为375V,具有大功率和扭矩输出。Roadster的感应电机峰值功率达185kW,最高转速达14000RPM;异步感应电机峰值功率达215kW,最高转速达13000RPM,最大扭矩达430Nm,功率密度达2.25kW/kg,这些参数共同赋予了Roadster优异的性能表现。图片来源:特斯拉 3. 永磁同步电机PMSM永磁同步电机是一种定子绕组与永磁转子同步旋转的交流电机,具有高功率密度、高效率和优异的动态响应特性,被广泛应用于新能源汽车、工业自动化、航空航天、家用电器等领域。Interior permanent magnet synchronous motor4. IPM电机和SPM电机两者之间的区别IPM电机:内置式永磁体 (IPM) 是一种交流电源电机,其中稀土材料制成的超级磁铁安装在转子槽内,线圈绕组(电枢)固定在定子上。与其他 IPM 电机相比,具有高效率、高可靠性、高扭矩和大功率密度。 SPM电机:也是一种交流供电电机配置,其中超级磁铁安装在转子表面。SPM 电机还提供高扭矩、高效率和高可靠性。与 IPM 电机一样,SPM 也是同步电机,但这里的永磁电机安装在转子表面上,而电枢固定在定子上。在 SPM 中,磁阻转矩最小,因此产生的转矩小于 IPM 电机。5. 无刷直流电机Brushless DC Motor图片来源:CSDN无刷直流电机是一种电子换向的直流电机,通过霍尔传感器或磁编码器检测转子位置,并由控制器(电子驱动器)调节电流,实现无刷运行。BLDC电机与传统的有刷直流电机(BDC)相比,取消了机械换向器和电刷,从而具有更高效率、更长寿命、更低噪音和更少维护的优势,因此广泛应用于电动汽车、无人机、家电、工业自动化、医疗设备等领域。6. 有刷直流电机Brushless DC Motor有刷直流电机是一种通过机械换向器(电刷和换向器)实现换向的直流电机。它依靠碳刷与换向器接触,使电流方向不断变化,从而驱动转子旋转。虽然有刷直流电机在某些应用上逐渐被无刷直流电机(BLDC)取代,但由于其成本低、控制简单、启动扭矩大,在许多工业和消费类设备中仍然有广泛应用。图中的有刷直流电机技术源自一种基于无铁转子(自支撑线圈)的设计,结合了贵金属或碳铜换向系统和稀土或铝镍钴磁铁。直流电机图所有直流电机均由三个主要子组件组成:1.定子2.刷架端盖3.转子7. 液冷电机Liquid-Cooled Motor液冷电机是一种采用液体冷却系统来控制电机温度的电机类型。相比传统的风冷电机,液冷电机具备更高的散热效率,能够在高功率、高负载工况下保持稳定运行。液冷系统通常采用水冷(含乙二醇溶液)、油冷或其他冷却液,冷却方式包括冷却套管、内置冷却通道、转子或定子直接冷却等。Lucid汽车工程师认为绕组之间存在狭窄的磁性“死区”,可以在不影响磁通量的情况下在这些死区中切割出细长的冷却通道。这些通道允许冷却油从更靠近产生热量的地方(铜中)带走更多热量。油流通过针孔从这些狭窄的通道中流出,针孔将油喷洒到裸露的铜绕组上。华为液冷电机智能油冷 精准散热、电机核心部件温度降低15℃ 承受极端条件的能力 、超静音 AI算法的系统级耦合仿真优化 行业领先78dB NVH、图书馆级的安静舒适8. 磁阻电机Reluctance Motor磁阻电机是一种依靠磁阻特性来产生转矩的电机。结构简单,无需永磁体,适用于高温环境。高效、可靠,且成本较低。适用于要求高转矩密度和高能效的应用场景。磁阻电机通常分为同步磁阻电机(SynRM)和开关磁阻电机(SRM)两类。图片来源:罗罗日记开关磁阻电机9. 步进电机Stepper Motor步进电机是一种离散控制的电机,每输入一个电脉冲,转子便转动一个固定的角度(步距角),从而实现精确的位置控制。步进电机的主要特点:开环控制无需反馈系统即可精确定位。高转矩、低速稳定性好适用于需要精准控制的场合。结构简单、成本较低广泛用于工业自动化和消费电子领域。常见的步进电机类型包括永磁步进电机(PM)、可变磁阻步进电机(VR)、混合式步进电机(HB)等。10. 轴向磁通电机Axial Flux Motor轴向磁通电机是一种特殊的电机拓扑,其磁通方向平行于电机轴,与传统的径向磁通电机(磁通垂直于轴)不同。

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  • 激光雷达的工作原理

    1、激光雷达的工作原理是什么? 激光雷达是一种以发射激光束来探测目标位置、速度等特征量的雷达系统。这个系统也可以通过扫描发射和接收装置来获取目标物体的三维形状,在不同角度发射和接收激光脉冲,可以构建出物体的完整三维轮廓。激光雷达的工作原理基于光的发射、传播和接收,最终通过测量光脉冲从发射到接收的时间来确定距离,下图是激光雷达测量距离的基本步骤。 发射激光脉冲:激光雷达设备发射一束激光脉冲,这些脉冲通常是红外或近红外光。 光的传播:激光脉冲以光速传播,向目标物体移动。 光的反射:当激光脉冲遇到目标物体时,部分光会被反射回来。 接收反射光:激光雷达设备中的接收器捕捉反射回来的激光。接收器通常与发射器紧密对齐,以确保接收到的光是直接从目标物体反射回来的。 时间测量:设备内部的计时器记录激光脉冲发射和接收的时间间隔。由于光速是已知的,这个时间间隔可以用来计算光脉冲往返目标物体的距离。 计算距离:距离的计算公式是,距离=光速×时间/2,其中时间是光脉冲往返的时间。 数据处理:测量到的距离数据可以用于生成点云,这激光雷达在短时间内可以获取大量的位置点信息(或者称为激光点云),这些点云可以进一步处理,生成三维模型或地形图。 2、激光雷达如何分类?激光雷达有很多种不同的分类方法:(1)按照波长分类,可分为905nm、1550nm、940nm等,目前主流的激光雷达主要有905nm和1550nm两种波长。 905nm:激光雷达接收器可以直接选用价格较低的硅材质,905nm激光雷达成为了当下最主流的激光雷达所选用的波长。不过人眼可识别的可见光波长处在390~780nm,而400~1400nm波段内激光都可以穿过玻璃体,聚焦在视网膜上,而不会被晶状体和角膜吸收,人眼视网膜温度上升10℃就会造成感光细胞损伤。因此905nm激光雷达为了避免对人眼造成伤害,发射功率需先在在对人无害的范围内。因此,905nm激光的探测距离也会受到限制。 1550nm:相比905nm激光,1550nm激光会被人眼晶状体和角膜吸收,不会对视网膜产生伤害,因此1550nm激光雷达可以发射更大功率,探测距离也可以做到更远。但是1550nm激光雷达无法采用常需要用到更加昂贵的铟镓砷(InGaAs)材质,因此在价格上较905nm激光雷达会较高。 (2)按照测量方式分类,可以分为ToF激光雷达和FMCW激光雷达 ToF(Time of Flight,飞行时间):ToF激光雷达通过直接测量发射激光与回波的信号的时间差,基于光在空气中的传播速度得到目标物体的距离信息,具有响应速度快,探测精度高的优势。ToF方案技术成熟度高,成本相对低,为目前主要激光雷达使用的方案。 FMCW(Frequency Modulated Continuous Wave,调频连续波):FMCW激光雷达将发射激光的光频进行线性调制,通过回波信号与参考光进行相干拍频得到频率差,从而间接获得飞行时间推出目标距离。FMCW具有可直接测量速度信息和抗干扰强的优势。 (3)按照扫描方式分类,可以分为机械式、半固态和全固态雷达,雷达正在经历机械式到半固态,再由半固态到全固态的发展过程。 机械式激光雷达:以一定的速度旋转,在水平方向采用机械结构进行 360°的旋转扫描,在垂直方向采用定向分布式扫描,机械式激光雷达的发射器、接收器都跟随扫描部件一同旋转。机械式激光雷达作为最早装车的产品,技术已经比较成熟,因为其是由电机控制旋转,所以可以长时间内保持转速稳定,每次扫描的速度都是线性的。 半固态激光雷达:发射器和接收器固定不动,只通过少量运动部件实现激光束的扫描。半固态激光雷达由于既有固定部件又有运动部件,因此也被称为混合固态激光雷达。根据运动部件类型不同,半固态激光雷达又可以细分为转镜类半固态激光雷达、MEMS半固态激光雷达和棱镜类半固态激光雷达。 全固态激光雷达:内部完全没有运动部件,使用半导体技术实现光束的发射、扫描和接收。固态激光雷达又可分为Flash固态激光雷达和OPA固态激光雷达。其中OPA(Optical Phase Array的简称,即光学相控阵)固态雷达应用的是相控阵技术,相控阵雷达发射的是电磁波,而OPA激光雷达发射的是光,而光和电磁波一样也表现出波的特性,所以原理上是一样的。波与波之间会产生干涉现象,通过控制相控阵雷达平面阵列各个阵元的电流相位,利用相位差可以让不同的位置的波源会产生干涉(类似的是两圈水波相互叠加后,有的方向会相互抵消,有的会相互增强),从而指向特定的方向,往复控制便得以实现扫描效果。光和电磁波一样也表现出波的特性,因此同样可以利用相位差控制干涉让激光“转向”特定的角度,往复控制实现扫描效果。 3、激光雷达的应用场景有哪些? 激光雷达在众多领域都发挥着重要作用,并且随着技术的不断发展,其应用范围还在不断扩大。 自动驾驶:在自动驾驶汽车中,激光雷达能够精确地感知车辆周围的环境,包括车辆、行人、障碍物的位置、速度和形状等,为车辆的路径规划和决策提供关键信息。 智能交通:用于交通流量监测、道路状况评估和智能交通信号控制。它可以实时检测道路上的车辆数量、速度和间距,优化交通流量。 测绘与地理信息:能够快速、高精度地获取地形、地貌和建筑物的三维信息,用于地图绘制、城市规划和土地测量。比如在大规模的地形测绘项目中,激光雷达可以生成详细的数字高程模型。 工业自动化:在工厂自动化中,用于物料搬运、机器人导航和质量检测。例如,在仓储物流中,激光雷达可以帮助自动导引车(AGV)准确地在仓库中行驶和装卸货物。 航空航天:用于飞机的防撞系统、地形跟随和地形规避。同时,在卫星遥感中,激光雷达可以测量大气参数和地表特征。 军事领域:用于目标侦察、武器制导和战场态势感知等。例如,在导弹制导系统中,激光雷达可以提高导弹的命中精度。 4、激光雷达选型时有哪些关键参数? 选择激光雷达时需要注意一些关键规格参数 测距精度:表示为距离的误差 角分辨率:可以探测到最小角度,与激光束发射和接收统计相关。 扫描频率:每秒扫描次数,也称帧率,影响激光雷达的实时性能。 视场角:雷达可以覆盖的水平和垂直角度范围,决定了激光雷达可以检测到多少个目标。 工作距离:可以探测到的最远距离,实际应用和激光功率、接收机灵敏度等相关。 数据输出方式:输出数据的格式和接口类型 扫地机器人是应用非常广泛的机器人形态,扫地机器人的的关键指标主要包括,清洁能力指标,含清洁吸力、清扫部件设计、续航时间和清扫面积指标、尘盒容量、噪音指标等;智能化指标,含建图能力、导航能力、传感器配置、避障能力、自动回充能力等;控制APP易用性指标,含清扫模式设定、定时清扫设定、虚拟墙设置、地图存储等。 1、扫地机器人关键的技术指标有哪些?(1)清洁能力 吸力指标:吸力的强弱直接影响清扫效果,是衡量扫地机器人清洁能力的重要指标,单位为帕斯卡(Pa)。日常家用清洁1500~2500Pa的吸力可以应对灰尘、毛发等常见垃圾;如果需要清理较大颗粒杂物或较顽固的污渍,则需要更高的吸力。当然,吸力越大通常意味着噪音和能耗也会相应增加。 清扫部件设计:包含滚刷、边刷等清洁部件的设计。滚刷位于扫地机器人底部吸尘口前方,主要作用是将底部灰尘扫起。滚刷材质有胶条滚刷和刷毛滚刷,胶条滚刷能刮掉地面顽固颗粒,刷毛滚刷可拔出地砖和地板缝隙的灰尘,一些产品采用两者结合的方式,滚刷的形状、长度、转速等设计也会影响清扫效果。边刷位于扫地机器人的边缘,可将墙边和角落的灰尘清扫出来,边刷的长度、材质以及转动灵活度等也会影响其清扫性能。对于扫拖一体的扫地机器人还需要考虑拖布的设计,拖布的材质、形状、湿润度控制等都很关键。 清扫面积和续航时间指标:续航时间决定了机器人在一次充电后能清扫的面积,单位为分钟;清扫面积以平方米(m²)计算。电池容量在3000mAh的家用扫地机器人可满足大多数日常清洁需求。 尘盒容量设计:尘盒用于收集垃圾,尘盒容量越大,可容纳的垃圾就越多,减少清理尘盒的频率。 噪音指标:清扫工作时产生的噪音,通常以分贝(dB)为单位,影响用户体验。噪音在60分贝以下的扫地机器人较为适合家用场景使用,一些扫地机器人会采用涡流降噪技术等方式来降低噪音。 (2)智能化程度 建图能力:通过机器人的激光传感器扫描周围环境,构建地图,定位精度高、建图速度快。 定位和导航:可通过激光雷达传感器、惯性传感器、视觉传感器等协同导航。定位和导航中应用的不同传感器都会遇到一些限制,如应用视觉导航对光线条件有要求,光线较暗影响导航精度;应用陀螺仪和加速度计等惯性传感器获取机器人的运动信息,容易产生累积误差。 路径规划:合理的路径规划可提高扫地机器人的清洁效率和覆盖率,避免漏扫和重复清扫。比如根据房间的布局和障碍物分布,自动规划高效的清扫路线,先沿边清扫、再分区清扫等。 避障能力:扫地机器人在清扫过程中避免碰撞家具、墙壁等障碍物,减少机身磨损和损坏。通过红外避障、超声波避障、激光避障、视觉避障、碰撞传感器等协同实现避障。不同成本的扫地机器人,会配置不同的传感器组合。 自动充电:自动回充功能可以让扫地机器人在电量不足时自动返回充电座充电,充电完成后继续工作, (3)控制APP易用性指标 机器人需支持手机等终端的APP控制、并有清洁模式选择、定时清扫、虚拟墙设置、地图存储等功能。 2、"聪明"和"不聪明"的扫地机器人的区别是什么? 智能化的扫地机器人需要具备自主导航、路径优化、动态避障、自动充电等能力。扫地机器人的智能化差别主要体现在以下几个方面。 (1)扫地机器人导航能力差别 不聪明的:通常采用随机导航,仅仅依靠超声波探测实现基础避障;容易重复清扫或遗漏区域。 聪明的:使用激光雷达、摄像头等进行地图构建和路径规划,能够高效避障。 (2)扫地机器人环境感知能力差别 不聪明的:传感器较少,缺乏学习能力,仅能进行基本的碰撞检测。 聪明的:配备多种传感器,通过不同的传感器协同能识别不同地面类型、障碍物和污垢区域。 (3)扫地机器人清扫模式能力差别 不聪明的:功能简单,可能有一种或几种基本清扫模式。 聪明的:支持多种清扫模式,如自动清扫,局部清扫,边缘清扫,定点清扫,区域清扫,深度清扫,静音清扫等。聪明的扫地机器人会跟人一样,区分清楚哪些是干净的地方哪些是比较脏的地方,通过先沿边清扫、再分区清扫、最后定点深度清扫等组合操作实现智能清扫。 早期的扫地机器人就属于“不聪明”的模式,模式是“随机”清扫,没有规划能力,走到哪里扫到哪里,碰到哪里就改变路线。现在智能化的扫地机器人是“聪明”的模式,清扫告别了“横冲直撞”的随机式,利用定位导航技术让清扫变得有规划,提高清扫效率,降低机器损耗。1、机器人进入了未知的环境会怎样? 当我们去了一个陌生的环境,为了迅速熟悉环境并到达自己想去的地方,如图书馆、旅店、咖啡厅等,我们会做下面这些事情。 眼睛观察周围地标,如建筑、大树、花坛等,并记住他们的特征。 根据双眼获得的信息,在自己的脑海中把特征地标在三维地图中重建出来,形成完整的对环境认知的三维信息。 在行走时不断获取新的特征地标,并且校正自己头脑中的地图模型。 根据自己前一段时间行走获得的特征地标,确定自己的位置。 走了很长一段路的时候,我们可能会回头看看,和脑海中之前的地标进行匹配。 如以上五步在整个行进的过程中,我们同时进行定位和建图。如果将一个机器人放入未知的环境中的未知位置,是否有办法让机器人一边逐步描绘出此环境完全的地图,一边决定应该往哪个方向行进?例如扫地机器人,如何能不受障碍物影响行进到房间,并进入每个角落完成清扫工作。这就涉及到两个主要的任务,建图任务与定位任务,并且这两个任务是并发的。2、SLAM是什么?SLAM(Simultaneous Localization and Mapping,即同步定位与地图构建),是一种在机器人学、自动驾驶和移动机器人和增强现实等领域中非常重要的技术。SLAM最早由Smith、Self和Cheeseman于1988年提出,是实现真正全自主移动机器人的关键。SLAM技术解决的问题是,机器人被放置在一个它从未见过的环境中,SLAM技术让机器人在没有任何先验地图信息的情况下,通过自身的传感器来探索环境,同时构建出环境的地图,并在这个过程中确定自己在地图中的位置。定位(Localization)任务和地图构建任务(Mapping)是同时进行的。下图是一个3D SLAM的示例。 SLAM可以分为激光SLAM和视觉SLAM,激光SLAM可以分为2D SLAM和3D SLAM,视觉SLAM可以分为Sparse SLAM和Dense SLAM Sparse(稀疏) SLAM如下示例 Dense(密集)SLAM如下示例 SLAM技术的发展涉及到多个学科,包括计算机视觉、机器人学、人工智能和控制理论等。随着技术的进步,SLAM在精度、效率和应用范围上都有了显著的提升。 3、SLAM中有哪些关键技术点? (1)传感器技术:外部信息的采集依赖惯性测量单元(IMU)、霍尔编码器(Encoder)、激光雷达(Lidar)、深度摄像机等。 惯性测量单元:IMU提供姿态和位置信息, 霍尔编码器:通过编码器获取车轮的运动数据,原理参考霍尔传感器 - 从左手定则到嵌入式编码 (qq.com) 激光雷达:Lidar通过发射激光束来探测目标位置、速度等特征量,感知外部信息, 摄像机:包括单目摄像头、双目摄像头、深度摄像机,核心都是获取RGB和depth map(深度信息)。 (2)算法技术 应用SLAM算法的时候主要考虑下面几个方面 如何表示地图?比如根据实际场景需求去选择dense或sparse算法。 如何感知信息?比如选择激光雷达或者深度摄像机去感知外部环境。 如何关联传感器数据?对于不同sensor的数据类型、时间戳、坐标系表达方式各有不同,需要统一处理。 如何进行定位与构图?这是指实现位姿估计和建模,这里面涉及到很多数学问题,物理模型建立,状态估计和优化。 以视觉SLAM(VSLAM)为例,SLAM处理信息处理流程可以归纳为如下流程图,其中“前端”是视觉里程计,提取每帧图像特征点,利用相邻帧图像,进行特征点匹配,然后去除大噪声进行匹配,得到一个位姿信息,同时利用IMU提供的姿态信息进行滤波融合。“后端”则是通过非线性算法对前端输出的结果进行优化,涉及的数学知识较多,需利用滤波理论(EKF、UKF、PF)、或者优化理论等算法进行优化,最终得到最优的位姿估计。 常见的SLAM算法包括一下算法。PTAM算法,这是早期的视觉 SLAM 算法;Mono-SLAM算法,是单目视觉SLAM算法;ORB-SLAM算法,是基于 ORB 特征的视觉SLAM算法,具有较好的实时性和鲁棒性;还有RGBD-SLAM算法、LSD-SLAM算法等。实际应用中,SLAM建图具体实现方式会因使用的算法、传感器类型以及应用场景的不同而有所差异。 使用ROS实现机器人的SLAM是非常方便的,因为有较多现成的功能包可供开发者使用,如gmapping、hector_slam、cartographer、rgbdslam、ORB_SLAM、move_base、amcl等,并且开发者还能应用仿真环境进行验证。 4、SLAM技术在自动驾驶中的应用 (1)SLAM技术在自动驾驶中的应用体现在以下几个方面 环境感知:自动驾驶汽车通过搭载的传感器(如激光雷达、相机、雷达等)实时获取周围环境的信息。利用SLAM技术,车辆能够从这些传感器数据中提取特征,构建出周围环境的地图。 实时定位:在行驶过程中,车辆需要实时确定自身在地图中的位置。SLAM技术通过传感器数据和地图信息,计算出车辆的精确位置和姿态。这种定位不仅依赖于GPS,还依赖于车辆自身的传感器,确保在GPS信号弱或无信号的环境中也能准确定位。 路径规划:有了环境地图和自身定位信息,自动驾驶汽车可以进行路径规划。SLAM技术帮助车辆识别可行路径,避开障碍物,规划出最优行驶路线。 自动避障:在行驶过程中,车辆需要实时检测和避开障碍物。SLAM技术通过传感器数据,识别出前方的障碍物,并计算出避障路径。 回环检测:回环检测是SLAM中的一个重要环节,指的是车辆在行驶过程中识别出曾经经过的地点。这有助于校正地图和定位信息,避免重复探索和定位误差。 动态地图更新:环境是动态变化的,自动驾驶汽车需要不断更新其地图信息。SLAM技术能够实时处理新的传感器数据,更新地图,确保地图的准确性和时效性。 传感器融合:自动驾驶汽车通常搭载多种传感器,每种传感器都有其优缺点。SLAM技术通过融合不同传感器的数据,提高整体的感知能力和鲁棒性。 数据关联:不同传感器的数据类型和时间戳可能不同,SLAM技术需要将这些数据关联起来,确保数据的一致性和准确性。 (2)SLAM技术具体实现步骤 传感器数据采集:车辆通过激光雷达、相机、IMU、超声波等传感器获取周围环境的图像和距离信息。 特征提取与匹配:从传感器数据中提取特征点,并在不同时间点的图像中进行匹配。 位姿估计:利用特征点匹配结果,计算车辆在地图中的位置和姿态。 地图构建:将车辆的移动轨迹和环境特征结合起来,逐步构建出环境地图。 路径规划与优化:根据地图和车辆定位信息,规划出最优行驶路径,并在行驶过程中不断优化。 动态更新:实时处理新的传感器数据,更新地图和定位信息,应对环境变化。 通过这些步骤,SLAM技术为自动驾驶汽车提供了强大的环境感知和导航能力,确保其在复杂环境中的安全和高效行驶。 参考文档《一文看懂激光雷达LIDAR基本工作原理》 https://zhuanlan.zhihu.com/p/602055107

    2024-11-25 401浏览
  • 新能源汽车的电驱动关键技术

    一般来说,大三电包括:驱动电机、电控、变速器;小三电则包括:高压配电盒PDU、车载充电机OBC和DC/DC变换器。 1、大三电 包含三大总成部件: 驱动电机总成 控制器总成 传动总成 新能源汽车的电驱动系统在高温、高湿、振动的复杂工作环境下,基于实时响应的软件算法,高频精确地控制电力电子元器件的功率输出特性,实现对驱动电机的控制,最终通过精密机械零部件对外传输动力。 2、小三电 同样包含三个总成: DC/DC变换器 车载充电机OBC(On-Board Charger) 高压配电盒PDU(Power Distribution Unit) 其主要功能为提供电力转换及电池的充放电功能,车载电源作为新能源汽车动力总成中的重要组成部分,必须满足功率密度大、体积小、质量轻、抗干扰能力强、可靠性强、寿命长等特点。 电驱动关键技术 1、电机高速化 驱动电机主要为机械部件,在行业竞争日趋激烈的情况下,提升电机的功率重量密度和功率体积密度,使电机质量减轻是降低驱动电机产品成本的有效方式。 提升电机转速,则对电机的设计提出了更高的要求,轴承选型、电机散热、转轴材料、定转子硅钢片材料、电磁仿真、机械强度仿真、热仿真、公差计算匹配等等都变得更有挑战性。 近年来不论是国内还是国外的产品,电机的最高转速都在不断的提升过程中。 2、电机扁线化 扁线电机,即采用扁平铜包线绕组定子的电机。与普通圆漆包线绕组相比,扁线绕组在相同的体积下,具有能量密度更高,电机效率更高的特点。 其优点包括: 更高的槽满率:相比传统圆线电机,裸铜槽满率可提升20~30%,有效降低绕组电阻进而降低铜损耗。 散热性能更好:扁线形状更规则,在定子槽内紧密贴合,热传导效率更高,提升电机峰值和持续性能。 更短的端部尺寸:相比圆线电机绕组端部尺寸更短,端部总高度短5~10mm,有效降低端部绕组铜耗。 更好的NVH表现:扁线结构绕组有更好的刚度,同时扁线绕组通过铁芯端部插线,电磁设计上可以选择更小的槽口设计,有效降低齿槽转矩脉动。 特斯拉、上汽新能源、雪佛兰Volt、丰田第四代Prius、长城蜂巢、东风岚图、保时捷Taycan、大众ID.4、汉GT、吉利极氪等车型或平台中都采用了扁铜线定子电机。 扁线电机已经进入大规模量产期,未来随着技术工艺的进一步成熟,扁线电机的生产成本有望低于传统圆线电机。 3、IGBT单管并联分立式技术 IGBT模块是由IGBT(绝缘栅双极型晶体管芯片)与FWD(续流二极管芯片)通过特定的电路桥接封装而成的模块化半导体产品。 封装后的IGBT模块直接应用于变频器、UPS不间断电源等设备上,在轨道交通、智能电网、航空航天、电动汽车与新能源装备等领域应用极广。 采用MOSFET以及IGBT单管并联技术(PEBB电力电子集成技术)的理念制作功率模块,有利于电机控制器灵活扩容,精准功率匹配,降低成本,保障了产品的可靠性,且具有良好的电磁兼容性。 根据英搏尔公司2021年半年报,其采取单管并联方案的“集成芯”动力总成其重量、体积、成本均低于目前主流产品20%以上。 同时,在电机控制器向高压大功率趋势发展的情况下,第三代功率半导体SiC的应用成为共识,因其导通电阻小,开关速度快的特点,运用单管并联技术才能发挥其最优特性。 4、SiC提升电控性能 在新能源汽车电机控制器当中,电力转换是通过控制IGBT的开关来实现的。IGBT受材料本身的局限,较难工作在200℃以上。 高功率密度的电机控制器需要高效的电力转换效率和更高的工作温度,这对功率器件也提出了更高的要求,如:更低的导通损耗、耐高温、高导热能力等。 基于SiC单晶材料的功率器件,具有高频率、高效率、小体积等优点(比IGBT功率器件小70-80%),已经在特斯拉 Model 3 车型中得到了应用。 SiC半导体控制器能使新能源汽车实现更长的续航里程、更短的充电时间、更高的电池电压。 与二代硅基IGBT相比,半导体SiC 750V时能效增加8-12%,总损耗减少约1/7,模块体积仅为IGBT的1/5左右,开关频率为IGBT的5-10倍。 电驱动总成技术发展趋势 1、系统集成化 系统集成化为确定性趋势,是技术发展和成本压力下的选择。 电驱动系统集成化是未来确定性的趋势,同时集成化产品也增加了行业的进入壁垒,技术层面,集成化程度更高的产品优势包括: 机械方面壳体、轴等部件上能够做到集成化,这样减少了使用零件的个数与部件的重量,节省了成本; 电气方面大三电集成能够减少控制器与电机相连三相线的长度,效率提升的同时也节省了线束成本,密闭的壳体空间内使电磁兼容方面的性能也能够提升;小三电方面共电路板设计也能够降低成本和产品体积。 系统层面,集成产品由一家来供应也可在最初始阶段就进行优化设计达到系统的成本最优,节省成本的同时也节省空间,在整车装配更迅速快捷。 2018年,分体式90kw电驱动系统电机、电控、减速箱、高压连接线束总价在11000元左右; 2020年,集成式90KW电驱动系统平均产品价格已经降到了7500元左右,降幅超过30%,同时体积和重量也下降明显。 2、多合一将逐渐代替三合一 随着电驱动产品集成化的进一步提升,除电机、电机控制器、减速器之外,高压分线盒、DC/DC、充电机OBC等零部件也可能集成进去,形成功能更全的多合一动力总成系统。

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