半导体材料在芯片制程的重要性不言而喻,这篇文章介绍一下半导体材料的发展、分类、性质等。
一、半导体材料的发展
第一代半导体材料:“元素半导体”。20世纪50年代以来,以硅(Si)、锗(Ge)为代表的第一代半导体材料的出现,取代了笨重的电子管,促使集成电路为核心的微电子工业的发展和整个IT产业的飞跃。人们最常用的CPU、GPU等产品,都离不开第一代半导体材料的功劳。可以说是第一代半导体材料奠定了微电子产业的基础。
硅在光伏领域应用产业链
第二代半导体材料:以GaAs为代表的二元、三元以及四元化合物半导体材料禁带宽度在1.5eV左右的GaAs系列半导体材料。在20世纪60年代,由于硅材料的带隙较窄、电子迁移率和击穿电场较低等原因,硅材料在光电子领域和高频高功率器件方面的应用受到诸多限制。因此,以砷化镓(GaAs)为代表的第二代半导体材料开始崭露头角,使半导体材料的应用进入光电子领域,尤其是在红外激光器和高亮度的红光二极管方面,应用于毫米波器件、卫星通讯、移动通讯和GPS导航等领域,与此同时,4G通信设备因为市场需求增量暴涨,也意味着第二代半导体材料为信息产业打下了坚实基础。
半导体材料主要性能参数比较
第三代半导体材料:以SiC、GaN为代表,其特征是禁带宽度在3.0eV左右的“宽禁带”,又称为“宽禁带半导体材料”。在20世纪80年代,人们希望半导体元器件具备耐高压、耐高温、大功率、抗辐射、导电性能更强、工作速度更快、工作损耗更低特性。于是,以碳化硅、氮化镓等为代表,其具备高击穿电场、高热导率、高电子饱和速率及抗辐射能力等优异性能的第三代半导体出现,适用于制作高温、高频、抗辐射及大功率器件,可大幅提升能源转换效率,降低系统成本。在国防、航空航天、新能源汽车、光伏储能等领域有着广泛的应用前景。
半导体主要材料及应用
在材料领域的第一代,第二代,第三代并不具有“后一代优于前一代”的说法。硅(Si)和化合物半导体是两种互补的材料,化合物的某些性能优点弥补了Si晶体的缺点,而Si晶体的生产工艺又明显的有不可取代的优势,且两者在应用领域都有一定的局限性,因此在半导体的应用上常常采用兼容手段将这二者兼容,取各自的优点,从而生产出符合更高要求的产品,如高可靠、高速度的国防军事产品。因此第一、二代是一种长期共同的状态。
第三代则有望全面取代:第三代宽禁带半导体材料,可以被广泛应用在各个领域,消费电子、照明、新能源汽车、导弹、卫星等,且具备众多的优良性能,可突破第一、二代半导体材料的发展瓶颈,故被市场看好的同时,随着技术的发展有望全面取代第一、二代半导体材料。
二、半导体材料的分类根据应用领域分类:微电子材料、光电子材料、光伏材料等;
根据材料的晶体结构分类:单晶半导体材料、多晶半导体材料、非晶半导体材料;
根据材料形状分类:块体半导体材料、薄膜半导体材料;
根据材料的组分构成分类:无机半导体、有机半导体、有机/无机复合半导体。
无机半导体分为:元素半导体和化合物半导体
元素半导体:B,C, Si, Ge, Se, Sn,P, As 等十二种,但除了Si、Ge、Se之外,都没有实用价值,主要是熔点太高,难以制备单晶,杂质太多,难以提纯
化合物半导体:Ⅲ -V, Ⅱ-VI, Ⅳ-Ⅳ,Ⅳ-Ⅵ:GaAs, Cds, SiC, PbS;金属氧化物: Cu2O;过渡金属氧化物: Cr2O3;磁性半导体:CdCr2S4;稀土化合物:EuO等等
三、半导体电学特性和结构特性1)电学特性
电阻率特点:10-6-108Ω.cm;杂质、温度、光、电对其影响
导电性特点:
- 金属材料:只有一种导电类型:电子。数量多,电流大,迁移率大。
- 半导体材料:电子(负电)导电,n型半导体空穴(正电)导电,p型半导体
光电性特点:
- 电致发光:在p-n结上加电压,发出激光
- 光生伏特效应:p-n结被光照,产生电子和空穴,产生电流---太阳能电池
2)结构特性
半导体材料的高纯特性
- 半导体材料的主要电学特性是电阻率(电导率),它取决于载流子浓度和载流子迁移率;
- 为了保证利用电活性掺杂剂准确控制载流子浓度,半导体材料本身必须高纯,没有(或尽量少)杂质;
- 在制备半导体材料时,需要高纯的原材料,杂质越少越好;
半导体材料的晶格完整性
- 半导体材料要少缺陷;
- 器件失效;
- 硅材料中的缺陷;
常见的物质状态主要有以下三种:
- 固态:物质分子间的距离较小,排列有序,具有固定的形状和体积。有较高的密度和硬度,分子运动相对缓慢。
- 液态:分子间距离较大,相对无序,但能保持一定的体积。具有流动性,能够适应容器的形状。
- 气态:分子间距离很大,无序且无固定形状和体积。可以迅速扩散,容易压缩。
- 工业制造:材料处理、薄膜沉积等;
- 照明:例如荧光灯和等离子体显示器;
- 太空探索:火箭推进器中的等离子体引擎;
- 科学研究:核聚变等;
- 环保领域:废气处理等。
五、半导体材料中的酸、碱和溶剂
半导体工艺中需要大量化学液体来刻蚀、清洗、冲洗晶圆和其他器件。化学家们把这些化学品分为三大类:
- 酸
- 碱
- 溶剂
溶剂是不带电的,pH为中性。水就是溶剂,实际上它溶解其他物质的能力最强。在晶圆工艺中,还比较常用酒精和丙酮,大部分溶剂是易挥发、易燃的,要在通风良好的地方使用,按照规程存储,这是非常重要的。
总之,半导体材料具有特殊导电性能,它的导电性介于导体和绝缘体之间,这使其在电子技术领域具有重要地位。半导体材料广泛应用于集成电路、晶体管、激光技术、光电子器件等方面,是现代电子工业的基础。其性能可通过掺杂等方式进行调控,从而实现各种电子器件的设计和制造,为信息处理、通信、计算机技术等领域的发展提供了关键支撑。