倾斜光栅的参数优化与容差分析
时间:2019-08-23 11:00来源:讯技光电作者: 技术部点击:203次打印
摘要

对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。

1-1ZR3110153312.png

建模任务

1-1ZR31102241U.png


1阶的参数优化

1-1ZR3110300146.png


结果-容差分析

1-1ZR311033c64.png


结果-容差分析

1-1ZR3110400923.png


在VirtualLab Fusion中查看

1-1ZR31104205S.png

VirtualLab Fusion的工作流程

•构造光栅结构
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
- 倾斜光栅的高级配置[用例]
•分析光栅衍射效率
- 光栅级次分析器[用例]
•使用参数优化优化光栅参数
•使用参数运行进行容差分析
- 参数运行文档的用法[用例]

1-1ZR3110443116.png

VirtualLab Fusion技术

1-1ZR3110554J9.png


文件信息

1-1ZR3110634A5.png