在材料科学中,对晶体结构和晶粒取向的深入研究对于揭示材料性能具有决定性作用。传统技术,如X光衍射和中子衍射,虽然能够提供宏观层面的晶体结构和取向信息,但它们无法将这些信息与微观结构直接关联,也无法详细描述多相和多晶材料中不同相位和晶粒取向的空间分布。
同时,透射电镜(TEM)技术虽然能够对局部区域的晶体结构和取向进行分析,但其样品制备过程复杂,且通常只能提供有限区域的信息,这限制了其在材料制备和性能研究中的应用。
EBSD技术的优势
EBSD技术作为一种新兴的分析手段,为材料科学的微观分析带来了革命性的变化。EBSD技术相较于传统方法,展现出以下优势:
1. 微观结构与取向的关联分析:EBSD能够将晶体结构和取向信息与微观组织形貌直接关联,这对于深入理解材料的微观结构与宏观性能之间的联系至关重要。
2. 点分析能力:EBSD能够进行点分析,这是传统X射线衍射和中子衍射技术所不具备的。EBSD已经逐渐取代了SEM中的电子通道花样(SAC),并且在与TEM中的微衍射(MD)相比时,由于样品制备的简便性和快速自动测量的能力,EBSD更具优势。
3. 相鉴定的便捷性:尽管TEM在相鉴定方面有着悠久的历史,但其样品制备过程复杂。EBSD的简便样品制备过程使其成为更加实用的选择。
4. 补充性技术:EBSD不仅补充了X射线衍射和透射电镜在取向和相分析方面的不足,而且在微区和快速分析方面展现出独特优势。
EBSD技术的核心特性
1. 高精度晶体结构鉴定:EBSD技术的高精度使其成为继X光衍射和电子衍射之后的又一微区物相鉴定方法。
2. 晶体取向分析:EBSD技术已成为微区织构分析的标准方法。
3. 高速分析:EBSD技术能够以每秒100个点的速度进行高速分析,并且能够自动在线、面上采集数据点,兼具透射电镜的微区分析特点和X光衍射的大面积统计分析能力。
4. 简便的样品制备:EBSD的样品制备过程相对简单,配备EBSD系统和能谱仪的扫描电子显微镜能够集成显微形貌、成分和取向分析,极大地便利了材料科学研究。