在光刻机市场领域，ASML是不可忽略的存在，其生产的EUV光刻机一直是行业内的顶尖水准。2021年1月21日，全球领先的硅基氮化镓集成器件制造商英诺赛科科技有限公司和光刻机制造厂商ASML达成批量购买高产能i-line和KrF光刻机的合作协议，用于制造先进的硅基氮化镓功率器件。
英诺赛科购买ASML光刻机
ASML是全球芯片制造设备领导厂商，其生产的XT400和XT860 的i-line和KrF经过升级，能够在硅基晶圆上制造氮化镓功率器件。凭借其独特的TWINSCAN(双工件台)架构，ASML的i-line和KrF光刻机能提供最卓越的性能、市场上最高的生产效率以及最低的成本，双工件台技术架构已经成为全球300mm和200mm晶圆量产生产线中的先进光刻技术代表 。
据了解，英诺赛科将在今年第二季度搬入首批光刻机，这是第三代半导体领域首次量产应用先进的ASML TWINSCAN(双工件台)光刻技术，这一实施标志着第三代半导体制造技术正式进入了一个全新的纪元。
功率器件和电路可以通过高开关频率和高功率密度来实现高效的能源管理， 这些功能可以广泛用于快速增长的新兴市场如数据中心、可再生能源和下一代无线通讯网络等。除较小的外形尺寸外，由于其高频率、高功率密度等特性，硅基氮化镓还是快速充电，直流电网，新能源汽车等市场理想选择。“第三代半导体”材料包括氮化镓(GaN) 、碳化硅（SiC）、氮化铝（AlN）、金刚石和氧化锌（ZnO），而氮化镓(GaN)是“第三代半导体”材料的典型代表，具有广阔的市场应用前景。
英诺赛科科技有限公司成立于2015年12月，是一家致力于第三代半导体硅基氮化镓芯片制造的企业。公司成功建成投产全球首条200mm硅基氮化镓晶圆与功率器件量产生产线，主要产品包括200mm硅基氮化镓晶圆及30V-650V氮化镓功率器件。英诺赛科产品的设计与性能均达到国际最先进水平，并已广泛应用于PD快充、立体(3D)相机、移动电子设备(包括智能手机、笔记本电脑、平板电脑)等领域。
昨日，在珠海举行的签约仪式上，英诺赛科CEO 孙在亨先生 说：“我非常荣幸的宣布英诺赛科与ASML达成合作协议，我们将在一起努力用氮化镓技术改变未来。作为一家致力于推动第三代半导体创新革命的企业，我们需要与像ASML这样全球半导体领军的企业合作，采用更加先进的制造工艺，实现更加高的性能、良率和产出，在快速成长的各种应用领域共同推出最先进的解决方案以及下个世代的氮化镓器件，为我们的客户、伙伴和消费者创造更有价值的产品和服务。第三代半导体是一次产业革命性的升级，变革从不简单，它需要我们携手共进，携手共进我们将实现合作共赢。
ASML全球副总裁、中国区总裁沈波表示：“我们很高兴成为英诺赛科的合作伙伴，第三代半导体在全球市场有广阔的应用前景，阿斯麦会全力提供光刻解决方案和服务，支持英诺赛科在这一领域的发展。”
“我们应用在200mm晶圆生产线上的 XT平台，包括i-line、KrF和干式ArF等光刻机，是快速增长的硅基氮化镓市场的理想长期解决方案，不仅在生产率和成本方面是这样， 随着氮化镓（GaN）材料在新领域的应用，套准精度和成像要求也会随着时间的推移而扩展。” ASML 深紫外光刻业务产品营销和业务开发高级总监Toni Mesquida Kuesters说: “我们致力于帮助英诺赛科实现其预期目标，并期待卓有成效的合作。”
晶瑞股份购得ASML光刻机
无独有偶，1月19日，国产光刻胶制造企业晶瑞股份宣布，花费数月时间，终于从ASML手中购买了一台ASML XT 1900Gi 型光刻机，并且已经到货，正按照计划投入生产研发。
从晶瑞股份的公告可知，这台ASML XT 1900Gi 型光刻机属于第四代ArF浸入式光刻胶，可以用来研发最高分辨率达28nm的高端光刻胶。晶瑞公司购买的这台光刻机花了1102.5万美元，约合人民币7129万元，价值不菲。这台光刻机的到货，可以增加公司在光刻胶产品的核心竞争力。
晶瑞股份表示，本次购买的 ASML光刻机设备系公司集成电路制造用高端光刻胶研发项目的必要实验设备，旨在研发出更高端的 ArF 光刻胶，若研发工作进展顺利，将有助于公司将光刻胶产品序列实现到 ArF 光刻胶的跨越，并最终实现应用于12英寸芯片制造的战略布局。
由此不难发现，ASML向国产企业已经发货了一台光刻机，看来ASML没有说错，要在中国光刻机市场上加快布局，而且从荷兰地发货是不需要美国认可的。或许未来还有更多的机会从ASML手中购买重要的光刻机设备。
光刻机市场或迎来变局
1月20日，ASML正式公布了在2020年期间的营收成绩。据数据显示，ASML去年全年总营收140亿欧元，其中交付了31台EUV光刻机，总价值达到了45亿欧元，创造35.5亿欧元的净利润，相当于280亿元人民币。
从ASML公布的营收，财报数据就可以知道，市场对EUV光刻机的需求是比较大的。足足31台EUV光刻机完成交货，不出意外的话，这些光刻机都到了台积电、三星手中。
不过从营收结构上来看，31台EUV光刻机，卖出了45亿欧元，全年总营收140亿欧元，那么这其余一半以上的营收从何而来？答案是靠中低端光刻机，恰恰是这部分设备，创造了比EUV光刻机更多的营收。
在ASML的营收中，最赚钱的不是高端光刻机，而是这类中低端的光刻机设备。正好我国对这类光刻机有强烈的需求，一方面是迫切向中国市场出货，另一方面是我国正计划在2025年将芯片自给率提升到70%。
要想完成这个目标，就离不开光刻机市场的供应。而我国的光刻机制造企业，基本上靠上海微电子这家公司撑起，该公司具备28nm浸没式光刻机的研发水准，有消息称在2021年到2022年期间安排出货。
最近，有越来越多的ASML光刻机进入我国，如果中科院入局光刻机取得成绩，那光刻机市场变局还会更快到来。
每一台光刻机设备都是价值连城，虽然英诺赛科和晶瑞股份购买的光刻机并不是最先进的，但在这关键时期也算是意义重大。等有朝一日，我国也能够顺利购买EUV光刻机的话，实现高端芯片制造水准也并非不可能。而国产光刻机，也一定能崛起。
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