MEMS 的全称是微型电子机械系统，利用传统的半导体工艺和材料，集微传感器、微执行器、微机械机构、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。具有小体积、低成本、集成化等特点。
相信各位小伙伴在传感器相关电路的设计途中，肯定也会遇到诸多难题，例如产品选型、参数问题等等。
今天，就给大家带来了由ADI工程师整理的MEMS传感器相关问题解答，需要的筒子们不要错过咯~
下载链接：ez.analog.com/cn/other/f/forum/551355/adi
部分内容提前看：
ADXL355 中的动作门限寄存器 ACT_THRESH，是否可以用来限制加速度值超过门限值就不输出加速度？还是只能用来计数超过加速度门限的动作次数？
只能用来计数，不能不输出加速度。针对您描述的功能一般存在于对待机时间有较高要求的应用。 ADI 相应的低功耗加速度计如 ADXL362/372,可以检测静止或运动使器件进入休眠或低功耗模式。
ADXL362 能检测到的最小加速度值是多少？
如果噪声很小，此时 ADXL362 的分辨率为 1mg/LSB，其能检测到的最小加速度为 1mg；但如果噪声大，则最小值为噪声的门限。具体可以通过噪声谱密度和带宽算出噪声的 rms 值，再乘以 6.6 系数得到噪声的峰峰值，则这个值是可以分辨的最小加速度值。
ADXL206 温箱内升温降温输出加速度存在偏置。
加速度计存在这种温度的迟滞，一般 5~10mg 都在可允许的范围内，这个值可以参考数据手册中的零偏重复性。
ADXL357在复杂的振动环境中可以实现0.05°的测量精度吗，上电后需要重新校准吗？通电一周的漂移有多少？
可以依次计算下静态噪声，随机游走，10 年可重复性带来的误差，这些是没法补偿的。初始偏差，与温度有关的误差，跨轴灵敏性等是可以补偿掉的。高振动环境要定量计算振动值对振动整流误差的影响。如果有在 flash 保存校准数据，重新上电无需再校准。
ADIS16480 是否需要进行电磁屏蔽
电机的干扰会通过通信接口，电源和地进来。通信接口最好能隔离，电源要单独供电，最好是低噪声的 LDO，电源的纹波会显著影响传感器的性能。
ADIS16490 工作温度变化带来的零偏严重漂移，上电 1 小时还未平稳的问题,要找到温补的方法。
ADIS16490 数据手册中有陀螺仪和加速度计随温度变化的参数，且内置了温度传感器。您可以通过上述参数，获取温度传感器数据对传感器输出进行补偿。
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