用于光学检测的斐索干涉仪
时间:2020-07-17 10:41来源:讯技光电作者: 技术部点击:346次打印
摘要

1-200GG04443114.png

斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器，常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术，我们建立了斐索干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，如柱面和球面，可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。

建模任务

1-200GG04613348.png

观测倾斜平面

1-200GG04635K8.png

观测柱面

1-200GG04F3M1.png

观测球面

1-200GG04I0206.png

走进VirtualLab Fusion

1-200GG04K5G7.png

VirtualLab Fusion的工作流程
 设置输入场
- 基本光源模型 [教学视频]
 使用表面构造真实元件

 定义元件的位置和方向
- LPD II：位置和方向 [教学视频]
 为非序列场追迹设置合适的通道
- 非序列场追迹的频道设置 [用例]

1-200GG04R2T8.png

VirtualLab Fusion技术

1-200GG04T9257.png

文件信息

1-200GG05101U6.png