电阻率 (Resistivity) 是用来表示各种物质电阻特性的物理量，是衡量材料抵抗电流流过的能力的指标。它是材料的固有特性，描述了每单位长度、面积或体积对电流流动的阻力。电阻率用希腊字母rho（ρ）表示，单位为欧姆米（Ωm）。它不仅与物质的种类有关，还受温度、压力和磁场等外界因素影响。
电阻率是材料的一种基本特性。如果在一块具有统一剖面的均质材料上施加电压和测量电流，就能通过公式R = V/I 确定电阻值。如果已知样品的剖面面积(宽×深) 和长度，就能根据电阻测试结果计算相关材料的电阻率特性，如下图所示。
图1 根据电阻测试结果计算电阻率
一般需要测量所有埋入层和金属互连层的薄层电阻率。通常把电阻率用“每平方欧姆”表示，即不管面积大小，方形均质材料的电阻始终相同。
图2 无论面积如何，同样厚度的方形均质材料具有相同的电阻值。
电阻率受成分、温度和材料中存在的杂质等因素的影响。具有高电阻率的材料，如绝缘体，对电流流动提供显著的阻力，而具有低电阻率的材料（如金属）对电流流动的阻力非常小。
材料的电阻率在科学和工程的各个领域都很重要，包括电子、材料科学和电气工程。在电子学中，电阻率在决定电阻器、电容器和半导体等电子设备的性能方面起着关键作用。在材料科学和电气工程中，电阻率用于表征和评估不同材料的电气性能，包括金属、绝缘体和半导体。
/2 
