磁通门传感器是一种综合性能良好的磁测量器件，在地磁研究、空间磁场探测、航空航天、微型卫星、微型无人机等领域有着广泛应用。MEMS( Micro Electro HMechanical Systems)技术发展所催生出的微型器件中，微型磁通门因其尺寸小，易集成等等优点,率先得到了使用。然而微型磁通门的尺寸虽然得到有效缩减,但性能指标也出现了明显降低。为了更好的推广微型磁通门，需要分析其性能指标的影响因素，寻求提高其综合性能。
对铁芯结构的改进有利于提高微型磁通门传感器的性能,采用MEMS工艺制备了多孔铁芯结构微型磁通门，并对所制备的微型磁通门进行主要的工作参数和性能指标的综合测试。微型磁通门性能测试平台的原理如图所示。需要用到的实验仪器有：信号发生器，功率放大器，磁强计，电流表，频谱分析仪等。

6378224292339754133923019.png

所需的激励信号由任意信号发生器和功率放大器级联产生。电流表串联在激励回路中,测量激励电流的大小。直流电源激励螺线管产生被测外部磁场,螺线管电流大小由电流表指示。微型磁通门的感应线圈两端与示波器相连，分析输出的电压信号。