使用傅里叶模态法分析闪耀光栅
时间:2020-04-27 10:22来源:讯技光电作者: 技术部点击:254次打印
摘要

可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。

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傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）

建模任务

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单次FMM仿真结果

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参数扫描（1D）

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参数扫描（2D）

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文件信息

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