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光刻机在“刻”什么?

2020-8-25 09:42:58 显示全部楼层
随着芯片制造工艺的持续微缩,光刻机在过去几十年里也有了跨越性的发展。现在正在被台积电等先进工厂采用的EUV光刻记,更是成为了大家关照的焦点。究竟光刻机是怎么工作的?我们来看一下ASML的科普。而要了解其原理,首先从了解其外面的保护壳开始。                                                                                                                                                                                                                         
                                                                         
                                                                                                                                                            
                                                                     
                                                                                                          
                              
视频来源:Cymer官方网站
                                                                  
                                                                     
                                                                                                          
                                                                              
                                                                     
                                                                                                          
                                                                                           
                                                                     
                                                                                                          
                                                                              
                                                                     
                                                                                                          
                                                                                                                                           
                                                                     
                                                                                 
                                                                          
  
来源:ASML阿斯麦光刻

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