从产业链来看，半导体设备的上游主要是单晶硅片制造以及IC设计，下游则主要为IC封测。
半导体设备产业链：
资料来源：东方证券
根据半导体设备在IC制造中应用的场景不同，一般可以分为氧化炉、涂胶显影设备、光刻机、刻蚀机、离子注入机、清洗设备、质量/电学检测设备、CMP设备、CVD设备和PVD设备等。
从产业链的角度看，半导体产业链涉及材料、设备等支撑性行业，芯片设计、晶圆制造和封测行业，半导体产品终端应用行业等。
以集成电路为代表的半导体产品应用领域广泛，下游应用行业的需求增长是半导体产业快速发展的核心驱动力。
半导体芯片工艺制造流程：
半导体设备在硅片制造、前道及后道工艺中举足轻重。
半导体设备即主要应用于半导体制造和封测流程的设备。半导体设备行业是半导体制造的基石，是半导体行业的基础和核心。
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