倾斜光栅的参数优化与容差分析
时间:2019-11-07 15:13来源:讯技光电作者: 技术部点击:198次打印
摘要

对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。

1-19110G51512293.png

设计任务

1-19110G51541c6.png

1级参数优化

1-19110G516302b.png

结果-容差分析

1-19110G51HWc.png

结果-容差分析

1-19110G51K2c1.png

VirtualLab Fusion一瞥

1-19110G51Q9D8.png

VirtualLab Fusion中的工作流程

构建光栅结构
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
−倾斜光栅高级设定[用例]
•光栅衍射效率分析
−光栅阶序分析器[用例]
•使用参数优化进行光栅参数优化
•使用参数运行的容差分析

1-19110G51933119.png

VirtualLab Fusion技术

1-19110G52045463.png

文件信息

1-19110G52110458.png