摘要

当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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建模任务
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光栅特性与参数的严格分析

不同光栅周期下的衍射效率
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关于光栅周期选择的考虑
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偏振相关的衍射特性
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通过参数优化进行光栅设计

固定周期的2D参数优化
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2D参数优化–设计1
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2D参数优化–设计2
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制造公差分析–设计2
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变化光栅周期的3D参数优化
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制造公差分析
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走进VirtualLab Fusion
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VirtualLab Fusion中的工作流程
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•构造光栅结构
−通过使用界面来配置光栅结构
[用例]
•分析光栅衍射效率
−光栅级次分析器[用例]
•使用参数运行搜索初始解决方案
−参数运行文档的使用[用例]
•通过参数优化找到最终设计

VirtualLab Fusion技术
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文件信息
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