全网首拆：英国牛津产X射线能谱分析仪
机缘巧合，机缘巧合，这次真的是机缘巧合，一位老师傅看我DIY电镜比较痛苦，于是乎送了我半套电镜(拆机)， 为何讲是半套呢，因为只有镜体主机，没有电控部分。
这套被拆的EDX就是这套镜子上面的，镜子型号是JEOL JSM-5600LV
下面先简介一下EDX的原理：
所谓EDX(EDS)是指的X射线能谱分析，在扫描电镜中当电子束轰击到样品表面时会溢出二次电子与背散射电子，电镜靠这两种电子来成像形成样品表面轮廓与景深，但是当电子轰击到样品表面时，溢出的除了二次电子(SE)与背散射电子(BSE)，同时还会被激发出微弱的X射线，X射线的能量强弱与被电子轰击物体的各种成分含量相关，用特制传感器来探测接收这部分X射线，并分析其能量就可得到电子轰击靶面范围内各种元素含量(类似质谱仪或者色谱仪)，这就是X射线能谱分析的基本原理。
OK介绍完原理开拆 首先是这半套镜子到手的照片 物流给送来正在准备卸货
这东西别看不大 重量足足有270Kg，喊来4个朋友帮忙才把这家伙弄下车
下车之后拆掉木架用机器四个脚轮推到楼下
这就是今天的主角 上面带个大大的杜瓦瓶用来盛放液氮给传感器降温降低热噪声
传感器头部特写，传感器头部在样品仓内高度可调 使用时需要将传感器头部紧贴被测靶面区域
OXFORD，大名鼎鼎的牛津标志
EDX与电镜连接安装调整座
杜瓦瓶侧面，探测器参数型号，Link Pentafet
传感器到上位机通讯卡的插口
这次拆这个EDX主要原因有二：其一是没有计算机的通讯卡无法使用，其二是这个EDX的传感器窗口破损了.....在样品仓内漏气
高度调整机构
OK ,拿出工具开拆
拧开螺丝打开侧盖里面是一块并不复杂的板子，上面有前置放大电路和负高压部分
板子通过插座与气密连接件连接，拔下来之后板子背面可以看到大大的WIMA电容，十分HiFi
镀金气密插座十分抢眼(有尼康黄的功劳在里面)
打开另一面的盖子 内部还有个密封挡板
先拆掉传感器固定调整座
拆掉热传导铜座的两颗固定螺丝 拔掉传感器连线插座分离传感器与杜瓦瓶
杜瓦瓶端 剩余的热传导耦合靴和气密航连接插头
传感器总成特写
拆掉三颗螺丝 抽出导热铜棒与传感器头
头部特写 可以看到破损的传感器外壳窗口
传感器头部特写
OK 至此 全剧终，感谢各位看官，下次再见
-END-
作者：liukai163
来源：数码之家
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