Killoser

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ASML可向中国供应DUV光刻机,与EUV光刻机什么区别?

2020-10-20 15:54:14 显示全部楼层
据财新网报道,10月14日,ASML首席财务官达森(Roger Dassen)在发布三季报时作出回应,“一般而言,从荷兰向这些客户运送DUV光刻机系统不需要向美国申请出口许可。而涉及直接从美国运往这些客户的系统或者零件,则需要获得出口许可”。

但ASML并未提到更先进的EUV(极紫外)光刻机。也就是说,DUV的规则不适用于EUV光刻机,ASML必须获得许可证才有可能向中国企业出口EUV光刻机。

DUV光刻机与EUV光刻机什么区别?
中低端与高端的区别。DUV是深紫外线(Deep Ultraviolet Lithography),EUV是极深紫外线(Extreme Ultraviolet Lithography)。从制程范围来看,DUV基本上只能做到25nm,Intel凭借双工作台的模式做到了10nm,但是却无法达到10nm以下。只有EUV能满足10nm以下的晶圆制造,并且还可以向5nm、3nm继续延伸。

必须要用EUV的,是5nm以及以下,直到7nm,DUV都够用。

EUV的价格是1-3亿美金/台,DUV的价格为2000万-5000万美金/台不等。


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