摘要 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 ![]() 建模任务 ![]() 正弦光栅—效率与高度(TEA) ![]() 正弦光栅—透射相位曲线 ![]() 正弦光栅—透射相位曲线 ![]() 正弦光栅—衍射效率 ![]() 正弦光栅—效率与周期 ![]() 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 ![]() 闪耀光栅—效率与高度(TEA) ![]() 闪耀光栅—透射相位曲线 ![]() 闪耀光栅—衍射效率 ![]() 闪耀光栅—效率与周期 ![]() 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 ![]() VirtualLab Fusion一瞥 ![]() VirtualLab Fusion工作流程 • 设置光栅结构 −使用界面配置光栅结构[用户案例] • 分析光栅衍射效率 −光栅阶次分析器[用户案例] • 通过参数运行检查不同参数的影响 − 利用参数运行文档[用户案例] ![]() VirtualLab Fusion技术 ![]() 文件信息 ![]() 进一步阅读 - 用于光导耦合的倾斜光栅分析 - 光栅级次分析器 |