上次给大伙拆了全网首拆！扫描电镜专用 ， 英国牛津产X射线能谱分析仪（EDS） ， 今天给大伙拆一下这个镜子的电子枪吧 。
为啥要拆电子枪呢？这个话题要从遥远的2019年说起 ， 那时还没有疫情爆发 ， 那时还没有过年放假 ， 深圳一位老大哥看我折腾的难受 ， 于是说要支援我半套残废的镜子直接研究 ， 于是乎镜子就在今年4月份到家了 。
但是呢这玩意没有驱动部分 ， 没有电控部分也没有图纸手册 ， 所以想要知道电子枪上这一大把电缆的连接定义 ， 就只能拆了 。
这套镜子到家之后经过别扭的拆解 ， 上楼组装真空系统 ， 从到处漏气收拾到能抽到5e-6Torr ， 难为了我一个多月 ， 眼看着收拾利索的真空系统要拆解破坏重新来调 ， 心情格外蛋疼但是不拆也没办法 ， 找不到接线定义等于废铁 ， 最后纠结一个多月（其实是懒）决定开干！
废话不多说了上图各位开始看戏
首先上图镜子组装完之后镜体和自己焊接的不锈钢角铁机架（电控部分还没做只做了真空系统逻辑控制部分）
电子枪顶端灯丝仓 ， 打开可以看到里面的韦氏冒（栅极）里面包裹的是灯丝
透过电子枪真空管路接口向内看 ， 可以看到电子枪的两个电极——栅极和阳极
韦氏冒拔下来可以看到里面的灯丝 ， 放大可以看到发叉型灯丝的尖端在栅极孔的正中心
OK开拆电子枪本体 ， 电子枪总览
去掉灯丝栅极组件的阳极帽部分
特写 ， 可以看到阳极帽上被电子打过的痕迹 ， 可以猜测这个镜子用的时间不算短
拆掉第一级镜筒组件 ， 可以看到第一层电子透镜（电子透镜用来汇聚电子束）
第一级电子透镜光栅特写
拆掉螺丝拿出第一级电子透镜和阳极帽总成 ， 可以看到里面的电子透镜线圈
线圈特写 ， 此组线圈用来对电子枪的电子束光斑进行形变矫正 ， 每次更换灯丝之后阴极（灯丝）栅极相对于阳极的位置就会发生微小的变化 。
这些变化会导致电子束打在最终样品上的光斑由圆形变成椭圆形 ， 导致电镜在高倍率（10000X）下相场模糊或者被观测物体有形变 。
这时就需要用到这两组线圈来校正光斑 ， 使光斑达到最完美的圆形来消除这种畸变
阳极帽特写 ， 灯丝通电被加热后电子会溢出在韦氏冒（栅极）周围形成电子云 ， 在阳极电场的吸引下高速射出行程电子束
阳极组件和光栅管
拧开阳极帽后看到电子枪校正线圈组的真面目 ， 该组线圈由两组组成每组线圈又分为X和Y两个方向 。
给不同线圈施加电压从而达到校正的目的
第一组拆解完毕 ， 接下来的一组镜筒内是聚焦电磁透镜组 。
该组线圈由两个聚焦线圈组成 ， 硕大而厚实的线圈可以提供强有力的磁场将电子束聚焦到几nm的光斑 ， 从而达到200000X的放大倍率 。
线圈特写
拆掉聚焦线圈组后 ， 就看到了最核心的扫描和相差校正线圈组 ， 该组线圈外面铁壳内还有一组物镜线圈 。
电子束射出聚焦透镜组后 ， 进入扫描线圈组的光栅
拆开聚焦透镜组后端的盖板 ， 里面还有一个手动光栅组件 ， 该组件可以人为选择电子束的光斑直径
光栅背面特写
光栅正面特写 ， 以看到两个光栅上都有电子束打过的痕迹 ， 而且颜色都不相同很好看 。
眼尖的您能看得到光栅孔的位置吗？
光栅组件拆完之后 ， 有个奇怪的结构类似涡旋压缩机的转子一层一层围绕在光栅杆外围
考虑良久分析之后 ， 想到这个结构部件的可能用途之一是吸收打在光栅板上的溅射电子 ， 防止溅射电子被带入下一级电子透镜和光栅 。
聚焦透镜组出射光栅
扫描透镜组入射光栅
取出光栅头后的扫描透镜组件和物镜总成
物镜（本质是一个锥形电磁线圈）
拆掉物镜外壳后内部的结构
物镜外壳锈蚀严重
值得庆幸的是物镜光栅是纯紫铜的并没有受到腐蚀
被电子溅射形成色斑的物镜镜筒
物镜镜筒光栅
小心翼翼的抽出扫描线圈组件
组件内各类电磁透镜的极靴管
线圈组特写 ， 从左至右依次为：第一级辅助聚焦线圈 ， 像散修正线圈组（8枚空心小线圈） ， 扫描线圈 ， 第二级辅助聚焦线圈 。
来源：数码之家
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